西北大学赵伟获国家专利权
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龙图腾网获悉西北大学申请的专利一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法及加工系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115121941B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210937079.5,技术领域涉及:B23K26/06;该发明授权一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法及加工系统是由赵伟;段林含;张琛;朱月强设计研发完成,并于2022-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法及加工系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法,首先解读并模拟SVG矢量图形编码信息,重点解读编码信息里的标签信息,从每个标签所代表的坐标信息或函数信息里逐段模拟出矢量路径,最后将多焦点和矢量路径相结合,通过在空间光调制器上不断切换相位图产生多焦点并行的矢量路径。本发明设计的控制方法在半导体工业、微流控器件、光学操纵、激光切割等方面具有巨大的应用前景。
本发明授权一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法及加工系统在权利要求书中公布了:1.一种基于矢量化路径和光场调控的多焦点激光加工方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、通过计算机(13)解读所需加工图样的SVG矢量编码信息,提取所需加工图样的矢量路径,将矢量路径与SVG矢量编码信息对比直至形状轮廓完全一致; S2、根据加工任务要求,确定光学系统参数,根据光学系统参数计算多焦点光斑数量K、光斑尺寸和光场调制范围,设定光斑最小间隔; S3、基于光斑最小间隔和待加工矢量路径图样的真实尺寸对图样进行离散化,得到所有的激光焦点坐标信息,并通过SVG矢量编码信息中的路径信息关联每一个激光焦点移动的路径信息; S4、基于K个焦点光斑的调制范围将矢量路径图样分为n个加工分区,在每个加工分区内对K个焦点分配激光焦点坐标位置和路径信息,每个加工分区中均有K条路径; S5、在每个加工分区中,均生成全息相位图序列及其加载顺序; S6、通过在纯相位空间光调制器(7)上切换每一个加工分区的相位图序列对激光进行调制,从而生成K个焦点对每一个加工分区进行多焦点并行加工; 所述S3中对图样进行离散化处理具体包括以下操作步骤: S301、光斑最小间隔的取值范围为d4-d2,d表示所用激光光斑或者加工出的圆形区域的直径; S302、基于,通过数值插值方法,将每一条曲线离散化为坐标点,并按顺序为所有坐标点进行排序,生成顺序排列的横坐标、纵坐标数组,及其相应关系数组,代表第个坐标点,代表加工完第个坐标点后下一次加工的坐标点; 所述S4中分配加工分区和加工路径的具体方法为: S401、基于待加工的坐标点总数和坐标点的分布特点,确定n个加工分区; S402、根据第i个加工分区的位置和面积,将S3中生成的位于第i个加工分区的坐标点及其路径重新命名,将、和重新命名为、和,、,和代表坐标点在第i个加工分区内相对于加工分区中心的坐标; S403、针对第坐标点与坐标点在第i个加工区的不同分布情况,令第坐标点为第i个加工区的截止点,令坐标点为另一个分区的初始点; 所述S5中生成全息相位图序列及其加载顺序的具体操作步骤为: S501、以物镜(9)的后孔径平面直径D将后孔径平面分成a个条状区域,对每一个条状区域进一步分成b个更小的条状区域; S502、将K个焦点的坐标分别代入相位表达式 ; 其中,λ为激光波长,NA为所用物镜的数值孔径,nt为物镜的折射率,R是物镜的后孔径平面最大半径,x0和y0是物镜后孔径平面的正交坐标,其中Xil和Yil是在焦平面的x和y方向上相对于物镜原焦点的相对位移分量; 填充进行了两次条状分割的全息相位图,即能得到能够同时生成K个焦点的全息相位图。
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