上海精测半导体技术有限公司梁洪涛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利光学测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115077398B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210667770.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权光学测量方法是由梁洪涛;张戎;张厚道;张晓雷;张云;施耀明设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光学测量方法，所述光学测量方法包括：获取待测样品的测量光谱；对所述测量光谱进行光滑滤波处理，以得到高频光谱；基于所述待测样品的光学性能参数对所述测量光谱中的变量真空波长建立变量替换函数关系，以获取替换变量；基于所述替换变量，对所述高频光谱进行约化处理，以得到目标高频信号；对所述目标高频信号进行傅里叶变换，以得到傅里叶空间光谱；对所述傅里叶空间光谱进行寻峰，其中最大峰所对应的参数值即为所述待测样品的待测参数的测量结果。本发明直接通过确定所述傅里叶空间光谱最大峰所对应的参数值，并根据所述参数值得到所述待测样品的待测参数，提高了对待测样品的光学参数的准确度。
本发明授权光学测量方法在权利要求书中公布了：1.一种光学测量方法，其特征在于，包括： S1、获取待测样品的测量光谱，为入射光的真空波长，且所述为变量； S2、对所述测量光谱进行光滑滤波处理，以得到所述测量光谱中的高频光谱； S3、基于所述待测样品的光学性能参数对所述测量光谱中的所述真空波长建立变量替换函数关系，以获取替换变量，所述替换变量包括N个且与所述待测样品的每层薄膜相对应的替换分变量，所述替换分变量基于所述待测样品的每层薄膜的折射率建立所述函数关系来获取； S4、基于所述替换变量，对所述高频光谱进行约化处理，以得到与所述待测样品的待测参数相对应且呈现单一周期性振荡的目标高频信号； S5、对所述目标高频信号进行傅里叶变换，以得到傅里叶空间光谱； S6、对所述傅里叶空间光谱进行寻峰，其中最大峰所对应的参数值即为所述待测样品的待测参数的测量结果。
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