虎彩印艺股份有限公司曹伟获国家专利权
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龙图腾网获悉虎彩印艺股份有限公司申请的专利一种渐隐式光刻工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115185162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210666766.8,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种渐隐式光刻工艺是由曹伟;彭华桂;邓建发设计研发完成,并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种渐隐式光刻工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻技术领域,具体涉及一种渐隐式光刻工艺,包括如下步骤:S1、根据需求做出图案;S2、将图案中的铂金部分和彩色部分分离,得到两幅图,一幅图按照光刻机铂金系统所需存成对应格式图案,另一幅存成普通光刻系统所需格式图案;S3、将两幅图分别输入对应的光刻系统中进行光刻;S4、待光刻完成后取出胶板,采用显影液显影、烘干、电铸处理,得到光刻母版;S5、根据印刷载体,将光刻母片的图案转印至定位转移膜、电化铝、复合纸或薄膜上。本发明的隐式光刻工艺完美的将普通光刻技术和铂金光刻技术融合起来,使得到的产品防伪性能更强,应用范围更广,铂金光刻有靓丽的铂金光泽,展示效果突出,铂金光刻纹路细腻,解析度高。
本发明授权一种渐隐式光刻工艺在权利要求书中公布了:1.一种渐隐式光刻工艺,其特征在于:包括如下步骤: S1、根据需求利用相软件做出对应的图案; S2、利用相软件中的分离功能将步骤S1中得到的图案中的铂金部分和彩色部分分离,得到两幅图,一幅图按照光刻机铂金系统所需存成对应格式图案,另一幅存成普通光刻系统所需格式图案; S3、将步骤S2中得到的两幅图信息分别输入对应的光刻系统中进行光刻; S4、待步骤S3中两幅图光刻完成后,取出胶板,采用显影液显影、烘干、电铸处理,得到具有渐隐式光刻母版; S5、根据印刷载体,将步骤S4中得到的光刻母片的图案转印至定位转移膜、电化铝、复合纸或薄膜上即可; 步骤S3中先刻铂金部分,将光刻机坐标调至初始坐标x=0,y=0处,等待此部分光刻完成,完成后不要动版,再打开普通光刻系统,将光刻起始坐标调至普通光刻部分图案起始点x=10,y=10处,点击开始,等待光刻完成即可进入下一步; 所述显影液包括如下重量份的原料:主显影剂10-20份、抗氧剂1-3份、EDTA4-8份、四氢呋喃1-5份、碳酸钠1-3份、乙二醇1-3份、第一表面活性剂1-3份、第二表面活性剂0.5-1.0份和溶剂2-6份。
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