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龙图腾网获悉北京烁科精微电子装备有限公司申请的专利一种基于声波的抛光头的监测方法及监测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114910557B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210523889.6，技术领域涉及：G01N29/04；该发明授权一种基于声波的抛光头的监测方法及监测系统是由吴燕林;周庆亚;田洪涛;张康;李嘉浪设计研发完成，并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于声波的抛光头的监测方法及监测系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于声波的抛光头的监测方法及监测系统，监测方法包括：在测试保持环围绕测试保持环的中心轴旋转的过程中，采用声波传输液发射单元喷射声波传输液，声波传输液发射单元和测试保持环之间形成第一液柱；同时，采用声波发射单元通过第一液柱对测试保持环发射第一检测声波；采用声波接收单元接收测试保持环对第一检测声波反射后第一反馈声波；根据第一检测声波和第一反馈声波的波形分布获取第一沟槽以及第一沟槽之间的测试保持环的研磨面的测试表面形貌；采用形貌分析单元获取测试表面形貌的缺陷信息。通过上述的监测方法，可以实时监测保持环的质量，避免由于抛光头的质量问题导致的产品良率下降。

本发明授权一种基于声波的抛光头的监测方法及监测系统在权利要求书中公布了：1.一种基于声波的抛光头的监测方法，其特征在于，包括： 提供标定抛光头，所述标定抛光头包括标定保持环，所述标定保持环的研磨面一侧设置有若干第二沟槽； 在标定保持环围绕标定保持环的中心轴旋转的过程中，采用声波传输液发射单元对相邻第二沟槽之间的标定保持环的研磨面以及所述第二沟槽中喷射声波传输液，所述声波传输液发射单元和所述标定保持环之间形成第二液柱； 在采用声波传输液发射单元对相邻第二沟槽之间的标定保持环的研磨面以及所述第二沟槽中喷射声波传输液的过程中，采用声波发射单元通过所述第二液柱对所述标定保持环发射第二检测声波； 采用声波接收单元接收所述标定保持环对所述第二检测声波反射后沿第二液柱传输的第二反馈声波； 根据所述第二检测声波和第二反馈声波的波形分布获取第二沟槽以及第二沟槽之间的标定保持环的研磨面的标定表面形貌； 提供测试抛光头，所述测试抛光头包括测试保持环，所述测试保持环的研磨面一侧设置有若干第一沟槽； 在测试保持环围绕测试保持环的中心轴旋转的过程中，采用声波传输液发射单元对相邻第一沟槽之间的测试保持环的研磨面以及所述第一沟槽中喷射声波传输液，所述声波传输液发射单元和所述测试保持环之间形成第一液柱； 在采用声波传输液发射单元对相邻第一沟槽之间的测试保持环的研磨面以及所述第一沟槽中喷射声波传输液的过程中，采用声波发射单元通过所述第一液柱对所述测试保持环发射第一检测声波； 采用声波接收单元接收所述测试保持环对所述第一检测声波反射后沿第一液柱传输的第一反馈声波； 根据所述第一检测声波和第一反馈声波的波形分布获取第一沟槽以及第一沟槽之间的测试保持环的研磨面的测试表面形貌； 采用形貌分析单元获取测试表面形貌的缺陷信息；其中，采用形貌分析单元获取测试表面形貌的缺陷信息的步骤包括：分析单元根据测试表面形貌和标定表面形貌之间的差异获取测试表面形貌的缺陷信息； 其中，声波发射单元、声波接收单元和声波传输液发射单元构成声学测试模块；在测试保持环围绕测试保持环的中心轴旋转的过程中，沿着测试保持环的径向分布若干个声学测试模块。

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