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龙图腾网获悉西安中科华芯测控有限公司申请的专利一种三轴闭环加速度传感器及其监测系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114814290B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210501559.7，技术领域涉及：G01P15/03；该发明授权一种三轴闭环加速度传感器及其监测系统和方法是由徐金涛;刘尚波;段启航;王嘉;石念宝;曹辉;李莉;王辉设计研发完成，并于2022-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三轴闭环加速度传感器及其监测系统和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三轴闭环加速度传感器及其监测系统和方法，三轴闭环加速度传感器包括：沿竖直方向自上而下依次设置的顶层结构、加速度敏感结构和底层镜面结构，加速度敏感结构和顶层结构构成法布里珀罗干涉腔，沿竖直方向，加速度敏感结构和顶层结构之间的高度为法布里珀罗干涉腔的腔长；顶层结构用于接收红外光，红外光依次穿射顶层结构和加速度敏感结构后在法布里珀罗干涉腔内发生多次反射，并最终穿透底层镜面结构形成多光束干涉；加速度敏感结构包括质量块，质量块可沿竖直方向移动，腔长根据质量块的移动距离变化，随之使穿射底层镜面结构的多光束干涉光强发生变化；利用顶层结构、底层镜面结构上的金属电极层形成静电力反馈调制。

本发明授权一种三轴闭环加速度传感器及其监测系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种包括三轴闭环加速度传感器的加速度监测系统，其特征在于，所述三轴闭环加速度传感器包括： 沿竖直方向自上而下依次设置的顶层结构1、加速度敏感结构2和底层镜面结构3； 所述加速度敏感结构2和所述底层镜面结构3构成法布里珀罗干涉腔，沿所述竖直方向，所述加速度敏感结构2和所述底层镜面结构3之间的高度为所述法布里珀罗干涉腔的腔长； 所述顶层结构1用于接收红外光，所述红外光依次穿射所述顶层结构1和所述加速度敏感结构2后进入法布里珀罗干涉腔，并在法布里珀罗干涉腔内发生多次反射，多束反射光分别穿射所述底层镜面结构3，穿射后形成多光束干涉； 所述加速度敏感结构2包括质量块22，所述质量块22可沿竖直方向移动，所述腔长根据所述质量块22的移动距离变化，所述法布里珀罗干涉腔用于根据所述腔长变化改变所述多光束干涉的强度； 所述底层镜面结构3用于构成所述法布里珀罗干涉腔的下表面、并输出多光束干涉光； 所述顶层结构1包括镜面主体和电极部分，所述电极部分包括多个“L”型电极，且多个“L”型电极阵列设置于所述镜面主体上，每个所述“L”型电极具有”1”部12和”一”部11，所述”1”部12贯穿所述镜面主体设置，所述”一”部11贴设与所述镜面主体靠近所述加速度敏感结构2的一侧；所述”1”部12构造为硅穿孔电极，所述”一”部11构造为金属电极； 所述加速度敏感结构2还包括弹簧梁支撑件21和结构框体24，所述质量块22位于所述结构框体24的几何中心，所述弹簧梁支撑件21连接所述质量块22和所述结构框体24，以用于支撑所述质量块22沿竖直方向上的移动； 所述加速度敏感结构2还包括接触凸台23，所述接触凸台23支撑于所述结构框体24和所述底层镜面结构3之间，以用于给所述质量块22提供活动空间； 所述底层镜面结构3包括底层主体、接触电极32和外部电极33，所述底层镜面结构3靠近所述加速度敏感结构2的一侧构造为电极面，所述接触电极32和所述外部电极33均设置于所述电极面上，并且，所述接触电极32同时连接所述接触凸台23和所述外部电极33，以通过所述接触电极32贯通所述外部电极33和所述加速度敏感结构2； 所述底层主体靠近所述加速度敏感结构2的一侧开设有2个U型槽，2个所述U型槽关于所述底层主体的长度的中线对称设置，2个所述U型槽之间设置有第二金属电极31，所述U型槽中设置有ASIC电路34，每个所述U型槽的另一侧分别设置一组接触电极32和外部电极33。

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