细美事有限公司朴正薰获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114999882B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210189062.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备及基板处理方法是由朴正薰;金润相;全珉星;赵顺天;崔圣慜;洪镇熙设计研发完成，并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理设备及基板处理方法。本发明构思提供一种基板处理设备。所述基板处理设备包含：具有处理空间的腔室；置放于所述处理空间内且支撑基板的支撑单元；及用于自供应至所述处理空间的工艺气体产生等离子的等离子产生单元，且其中所述等离子产生单元包含：第一电极及面向所述第一电极的第二电极，所述第二电极由能够传输电磁波的材料制成。
本发明授权基板处理设备及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，所述基板处理设备包含： 腔室，所述腔室具有处理空间； 支撑单元，所述支撑单元置放于所述处理空间内且支撑基板；及 等离子产生单元，所述等离子产生单元用于自供应至所述处理空间的工艺气体产生等离子； 其中，所述等离子产生单元包含： 第一电极；及 第二电极，所述第二电极面向所述第一电极，所述第二电极由能够传输电磁波的材料制成； 其中，所述第二电极设置在所述腔室的顶壁处，用于加热所述基板的加热单元设置在所述腔室的所述顶壁上方，且所述顶壁由能够传输电磁波的材料制成； 所述第二电极设置为具有用于将反应气体供应至置放在所述支撑单元上的所述基板上的通孔的喷头类型。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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