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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至汇半导体应用技术有限公司申请的专利一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496731B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111675322.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法是由邓信甫;陈新来;唐宝国;刘大威;毛明军设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法，包括以下步骤：步骤一、将晶圆放置于晶圆清洗槽内；步骤二、向晶圆清洗槽内吹送氮气，氮气吹送完成后，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤三、将超纯水排出，向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤四、再次向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，晶圆在摆动机构的带动下做简谐运动；步骤五、晶圆向晶圆清洗槽内吹加热后的异丙醇与氮气混合物，超纯水排出；步骤六、晶圆做简谐运动的状态下持续向晶圆清洗槽内吹送异丙醇与氮气混合物，直至晶圆表面干燥。本发明使得水分子在异丙醇分子受到不断间歇性震荡已经完成的循环气流场力的控制下快速被带离槽体而达到干燥效果。

本发明授权一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、将晶圆放置于晶圆清洗槽内，并将晶圆清洗槽关闭形成密封结构； 步骤二、向晶圆清洗槽内吹送氮气，氮气吹送完成后，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆； 步骤三、将超纯水排出，向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，向晶圆清洗槽内再次输送超纯水润湿晶圆； 步骤四、将超纯水排出，再次向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，向晶圆清洗槽内再次输送超纯水润湿晶圆，晶圆在摆动机构的带动下做简谐运动；所述摆动机构包括驱动电机、滑动轨道、滑动块、轴接轨道及摆动臂，所述滑动轨道与所述轴接轨道平行设置，所述滑动轨道位于所述轴接轨道的上方，所述滑动块滑动安装于所述滑动轨道上，所述驱动电机用于控制所述滑动块在所述滑动轨道上进行往复运动，所述摆动臂至少设置为两个，所述摆动臂包括平行设置的第一支臂与第二支臂，所述第一支臂的上部沿长度方向设置有滑动槽，所述滑动块上对应安装有滑动轮，所述滑动轮安装于所述滑动槽内，所述第一支臂的下端与所述轴接轨道上的连接点轴安装，所述第二支臂的下端设置有晶圆承载区；所述摆动臂的摆动角度为15-30度； 步骤五、向晶圆清洗槽内吹加热后的异丙醇与氮气混合物，排出超纯水；异丙醇与氮气在混合容器内进行混合，所述混合容器内存放有异丙醇，所述混合容器的一侧设置有氮气连接口，所述氮气连接口连接氮气输送管道，所述氮气输送管道连接加热装置； 步骤六、晶圆做简谐运动的状态下持续向晶圆清洗槽内吹送异丙醇与氮气混合物，直至晶圆表面干燥后，将晶圆定位。

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