东京毅力科创株式会社森淳获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利处理模块和处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114724977B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111596530.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权处理模块和处理方法是由森淳;山岸孝幸设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理模块和处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及处理模块和处理方法。检测在处理容器内进行输送时的晶圆的位置偏移。处理模块具有处理容器、旋转臂和传感器。处理容器在内部具有多个处理空间，该多个处理空间各自的中心位于同一圆周上且分别配置有载置台。旋转臂具有多个保持部，该多个保持部能够保持分别在多个处理空间的载置台载置的晶圆，该旋转臂设为能够以圆周的中心为旋转轴线进行旋转。传感器位于相邻的处理空间之间，能够在旋转臂的旋转动作时检测被旋转臂保持着的晶圆的位置。
本发明授权处理模块和处理方法在权利要求书中公布了：1.一种处理模块，其中， 该处理模块具有： 处理容器，其在内部具有多个处理空间，该多个处理空间各自的中心位于同一圆周上且分别配置有载置台； 旋转臂，其具有多个保持部，该多个保持部能够保持分别在所述多个处理空间的载置台载置的晶圆，该旋转臂设为能够以所述圆周的中心为旋转轴线进行旋转；以及 传感器，其位于相邻的所述处理空间之间，能够在所述旋转臂的旋转动作时检测被所述旋转臂保持着的所述晶圆的位置， 其中，该处理模块还具有调整机构，该调整机构根据由所述传感器所检测到的所述晶圆的位置计算的所述晶圆的位置偏移的偏移量来使所述载置台移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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