佳能株式会社山田雅教获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利曝光装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114185249B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111052718.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置以及物品的制造方法是由山田雅教设计研发完成，并于2021-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及曝光装置以及物品的制造方法。为了提供能够考虑载置台的移动而校正载置台的位置的测量结果从而提高曝光性能的曝光装置，本发明涉及的曝光装置具备：第1载置台，具有第1反射面，一边保持基板及原版中的一方，一边以预定的频率往返移动；第1测量部，通过对由第1反射面反射的第1测量光进行接收，测量第1载置台的位置；第2载置台，具有第2反射面，保持基板及原版中的另一方；第2测量部，通过对由第2反射面反射的第2测量光进行接收，测量第2载置台的位置；第3测量部，比第2载置台接近第1载置台地配置，并且测量在内部传输的第3测量光的波长；以及控制部，根据第3测量部的测量结果和预定的频率，校正第2测量部的测量结果。
本发明授权曝光装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，以将形成于原版的图案转印到基板的方式对所述基板进行曝光，其特征在于，具备： 第1载置台，配置有与第1方向垂直的第1反射面，并且一边保持所述基板及所述原版中的一方，一边在所述第1方向上以预定的频率往返移动； 第1测量部，通过在朝向所述第1反射面射出第1测量光之后对由所述第1反射面反射的所述第1测量光进行接收，测量所述第1载置台在所述第1方向上的位置； 第2载置台，配置有与所述第1方向垂直的第2反射面，并且保持所述基板及所述原版中的另一方； 第2测量部，通过在朝向所述第2反射面射出第2测量光之后对由所述第2反射面反射的所述第2测量光进行接收，测量所述第2载置台在所述第1方向上的位置； 第3测量部，比所述第2载置台接近所述第1载置台地配置，并且测量在内部传输的第3测量光的波长；以及 控制部，根据所述第3测量部的测量结果和所述预定的频率，校正所述第2测量部的测量结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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