科磊股份有限公司R·威灵福德获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利基于深度学习的缺陷检测系统及计算机实施方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115769254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180043756.2,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于深度学习的缺陷检测系统及计算机实施方法是由R·威灵福德;G·丛;S·帕克设计研发完成,并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于深度学习的缺陷检测系统及计算机实施方法在说明书摘要公布了:提供用于检测样本上的缺陷的方法及系统。一种系统包含一或多个计算机系统及由所述一或多个计算机系统执行的一或多个组件。所述组件包含深度学习模型,其经配置用于针对样本上的位置从由高分辨率成像系统在所述位置处产生的高分辨率图像产生灰阶模拟设计数据图像。所述计算机系统经配置用于从所述灰阶模拟设计数据图像产生所述位置的模拟二进制设计数据图像。所述计算机系统还经配置用于通过从所述模拟二进制设计数据图像减去所述位置的设计数据来检测所述样本上所述位置处的缺陷。
本发明授权基于深度学习的缺陷检测系统及计算机实施方法在权利要求书中公布了:1.一种经配置以检测样本上的缺陷的系统,其包括: 一或多个计算机系统;及 一或多个组件,其由所述一或多个计算机系统执行,其中所述一或多个组件包括深度学习模型,所述深度学习模型被配置为,对于样本上的位置,将从在所述位置处产生的高分辨率图像产生针对所述样本上的所述位置的灰阶模拟设计数据图像,且其中所述高分辨率图像是由高分辨率成像系统在所述位置处产生的; 其中所述一或多个计算机系统被配置为利用所述灰阶模拟设计数据图像产生所述位置的模拟二进制设计数据图像;且 其中所述一或多个计算机系统进一步被配置为,通过从所述模拟二进制设计数据图像减去所述位置的设计数据得到的减去的结果,来检测所述样本上所述位置处的缺陷。
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