株式会社斯库林集团江本哲也获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116114049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180058516.X，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理方法是由江本哲也;山本滋;藤井大树;枝光建治;岩田敬次;川井侑哉;伊藤健一设计研发完成，并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法在说明书摘要公布了：提供一种基板处理方法。基板处理方法包括：对基板W供给拒水剂SMT的工序S7；在供给拒水剂SMT后，对基板W供给稀释异丙醇dIPA的工序S11，所述稀释异丙醇是经过稀释的异丙醇；以及在供给稀释异丙醇dIPA后，使基板W干燥的工序S12。
本发明授权基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其是处理基板的方法，其中，包括： 第一工序，对所述基板供给异丙醇； 第二工序，在所述第一工序之后，对所述基板供给拒水剂； 第三工序，在所述第二工序之后，对所述基板供给稀释异丙醇，所述稀释异丙醇是经过稀释的异丙醇； 第四工序，在所述第三工序之后，对所述基板供给异丙醇；以及 第五工序，在所述第四工序之后，使所述基板干燥， 所述稀释异丙醇包含异丙醇和去离子水， 在所述稀释异丙醇中，所述去离子水相对于所述异丙醇的比例为10％以上且30％以下。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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