上海微电子装备(集团)股份有限公司杨晓青获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利照明装置、缺陷检测系统、光刻机以及缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115406894B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110592434.5，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权照明装置、缺陷检测系统、光刻机以及缺陷检测方法是由杨晓青;韩雪山;张一志;申永强;顾杰设计研发完成，并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本照明装置、缺陷检测系统、光刻机以及缺陷检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种照明装置、缺陷检测系统、光刻机以及缺陷检测方法。其中，所述光照单元用于提供线状光照。所述光调整单元用于调整所述光照的发散角至预设值。所述光分割单元用于将经光调整单元后的所述光照分割为至少两束子光照。所述至少两束子光照交错分布且光强相互叠加形成的光斑包括呈平顶高斯分布的光斑。因此，本发明通过所述光调整单元来增大所述光照的发散角至预设值，以在有限的空间中实现远心照明，提高缺陷检测精准度。并通过光分割单元形成的所述光斑，以保证在一定方向上部分光强的均匀，避免内部运动以及外界振动导致光强不均匀不稳定，以引起对缺陷检测的影响，进而保证了缺陷检测系统的高精准度，有利于提高产品良率。
本发明授权照明装置、缺陷检测系统、光刻机以及缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种照明装置，其特征在于，所述照明装置包括：沿光路依次设置的光照单元、光调整单元、光分割单元以及准直镜组； 所述光照单元用于提供线状光照，并传播至所述光调整单元； 所述光调整单元用于调整所述光照的发散角至预设值，以缩小所述准直镜组的焦距；且调整后的所述光照为远心光照； 所述光分割单元用于将经所述光调整单元后的所述光照分割为至少两束子光照；所述至少两束子光照交错分布且光强相互叠加形成的光斑包括呈平顶高斯分布的光斑； 所述准直镜组用于保持经所述光分割单元输出的交错分布的所述至少两束子光照的准直性。
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