上海微电子装备(集团)股份有限公司程斌斌获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利气浴装置及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115220306B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110426406.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权气浴装置及光刻机是由程斌斌;张洪博;王伟伟;赵建军;颜小龙设计研发完成，并于2021-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浴装置及光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供一种气浴装置和光刻机，通过在气浴装置的本体内设置对应进气口设置且朝向远离进气口方向延伸的分流板，以使得从进气口流入的气流能够经气流通道重新分配，以均匀的从出气口流出。而分流板远离进气口弯折设置，从而可以调整气流的流体直径和方向，有效防止了流经气流通道内的气流产生涡旋。同时，通过设置导流板，以延伸气流通道，并进一步的避免涡旋的产生。
本发明授权气浴装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种气浴装置，其特征在于，所述气浴装置包括： 本体，所述本体内具有气浴腔，所述本体上还具有至少一进气口和至少一出气口，所述出气口设在所述本体的底部，所述进气口和所述出气口连通所述气浴腔； 至少一分流板，所述分流板设置在所述气浴腔内，其中，至少一个所述分流板对应一个所述进气口设置，所述分流板远离所述进气口的端部弯折设置，且朝向远离所述进气口的方向延伸，以将由所述进气口流入的气流进行分流至至少两个气流通道中，所述气流经所述气流通道分流后从所述出气口流出； 至少一导流板，所述导流板位于所述出气口上方，并与所述分流板远离所述进气口的端部固定连接，且朝向远离所述进气口的方向延伸，以延伸所述气流通道。
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