ASM IP私人控股有限公司杉浦博次获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利形成含氮碳膜的方法和用于执行该方法的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113529044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110371233.2，技术领域涉及：C23C16/00；该发明授权形成含氮碳膜的方法和用于执行该方法的系统是由杉浦博次;菊地良幸设计研发完成，并于2021-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本形成含氮碳膜的方法和用于执行该方法的系统在说明书摘要公布了：公开了用于形成含氮碳膜的方法和系统以及使用所述方法或系统形成的结构。示例性的方法包括提供具有碳封端碳‑氮键的前体。所述方法可还包括向反应室提供反应物。
本发明授权形成含氮碳膜的方法和用于执行该方法的系统在权利要求书中公布了：1.一种通过循环沉积工艺形成含氮碳膜的方法，所述方法包括以下步骤： 向反应室提供前体，其中所述前体的化学式包含： 具有包含C、H、O和N的环状结构的环状化合物，其中，所述环状化合物包括一个或多个碳封端的碳-氮键，其中所述环状化合物包含环状骨架，所述环状骨架由C、O和N中的一者或多者组成；以及 使用所述前体在基板的表面上形成含氮膜。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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