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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆的测量机台及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112908924B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110341274.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权晶圆的测量机台及清洗方法是由刘雨轩设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆的测量机台及清洗方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆的测量机台，包括载片台、真空抽气单元、压力吹气单元和控制单元，载片台处于测量晶圆的第二位置时，通过控制单元调节，使得真空抽气单元与吸附孔连通向吸附孔内抽真空，将晶圆吸附在载片台上，晶圆测量完后，通过控制单元调节，使得压力吹气单元与吸附孔连通，向吸附孔吹送压力气体，以便移除晶圆。载片台处于清洁的第一位置时，通过控制单元调节使得压力吹气单元与吸附孔连通，向吸附孔吹送压力气体，对载片台进行清洁，从而提高载片台的清洁度。本申请还公开了一种晶圆的测量机台的清洗方法，通过控制单元控制压力吹气单元与吸附孔连通，对载片台进行气压清洁，从而提高载片台的洁净度，提高晶圆的良品率。

本发明授权晶圆的测量机台及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的测量机台的清洗方法，其特征在于， 所述晶圆的测量机台包括： 可移动地载片台，具有处于清洁的第一位置和处于测量所述晶圆的第二位置，所述载片台上形成有吸附孔； 真空抽气单元，与所述吸附孔连接，用于对所述吸附孔进行抽真空，以吸附所述晶圆于所述载片台； 压力吹气单元，与所述吸附孔连接，用于向所述吸附孔吹送压力气体，以对所述吸附孔进行气压清洁或便于移除所述晶圆；以及 控制单元，用于控制所述真空抽气单元和所述压力吹气单元分别与所述吸附孔连通或隔绝； 收集单元，配置为当所述压力吹气单元进行气压清洁时，抽吸所述载片台上的颗粒； 所述清洗方法包括： 移动载片台，使所述载片台处于清洁的第一位置； 调节所述控制单元，使压力吹气单元与所述载片台的吸附孔连通的步骤之前，降下收集单元的罩体，以罩设于所述载片台； 调节控制单元，使压力吹气单元与所述载片台的吸附孔连通； 在控制压力吹气单元向吸附孔吹送压力气体，以对吸附孔进行气压清洁的步骤之前，控制所述收集单元向所述罩体内抽真空，以抽吸所述载片台上的颗粒； 控制所述压力吹气单元向所述吸附孔吹送压力气体，以对所述吸附孔进行气压清洁； 调节所述控制单元，使所述压力吹气单元与所述吸附孔隔绝； 移动所述载片台，使所述载片台处于测量所述晶圆的第二位置。

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