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华邦电子股份有限公司蔡耀煌获国家专利权

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龙图腾网获悉华邦电子股份有限公司申请的专利热板冷却系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115116882B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110285264.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权热板冷却系统是由蔡耀煌;李秘宁设计研发完成,并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

热板冷却系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种热板冷却系统,用以对一热板冷却,包括:一腔室以及一冷却模块。热板放置于该腔室中。冷却模块延伸设置于腔室内并朝向热板,用以对热板冷却,包含一喷嘴件、一外壳件以及一排出通道。喷嘴件朝向该热板,用以将一工作流体喷出至该热板。外壳件围绕喷嘴件,且喷嘴件设置于外壳件中。外壳件具有一环绕喷嘴件的盛接槽。排出通道连接外壳件并连通于盛接槽。当喷嘴件喷出工作流体冷却热板时,工作流体经由喷嘴件输送而朝向热板的一表面,且工作流体依序经由盛接槽至排出通道而排出热板冷却系统。

本发明授权热板冷却系统在权利要求书中公布了:1.一种热板冷却系统,用以对一热板冷却,其特征在于,包括: 一腔室,所述热板放置于所述腔室中;以及 一冷却模块,延伸设置于所述腔室内并朝向所述热板,用以对所述热板冷却,包含: 一喷嘴件,朝向所述热板,用以将一工作流体喷出至所述热板; 一外壳件,围绕所述喷嘴件,且所述喷嘴件设置于所述外壳件中,其中所述外壳件具有一盛接槽,所述盛接槽环绕所述喷嘴件;以及 一排出通道,连接所述外壳件,且连通于所述盛接槽; 其中,当所述喷嘴件喷出所述工作流体冷却所述热板时,所述工作流体经由所述喷嘴件输送而朝向所述热板的一表面,且所述工作流体依序经由所述盛接槽至所述排出通道而排出所述热板冷却系统, 所述冷却模块还包含一气动装置,设置于所述喷嘴件的一主流通道,用以将所述工作流体经由所述主流通道从所述喷嘴件喷出, 所述热板冷却系统还包括: 一接收单元,用以接收一预设信息,并感测所述热板的温度信息而获得一状态信息; 一分类单元;以及 一伺服单元,其中所述分类单元电连接所述接收单元与所述分类单元,且所述伺服单元电连接所述气动装置; 其中,当所述接收单元比对所述预设信息与所述状态信息中的所述热板的温度存在差异时,所述接收单元传递一警报纪录予所述分类单元,且所述接收单元传递所述预设信息与所述状态信息至所述分类单元; 其中,所述分类单元依据所述预设信息分类出一预设温度信息,且依据所述状态信息分类出一状态温度信息,并将所述警报纪录、所述预设温度信息与所述状态温度信息传递至所述伺服单元; 其中,所述伺服单元依据所述警报纪录、所述预设温度信息与所述状态温度信息,传送一控制信号至所述气动装置, 所述接收单元接收多个不同时间点的状态信息,并传递至所述分类单元: 所述分类单元依据所述状态信息,分类出多个状态温度信息并传递至所述伺服单元; 所述伺服单元比对所述状态温度信息存在有差异且收到所述警报纪录时,所述伺服单元传递所述控制信号至所述气动装置以对其开启。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华邦电子股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾台中市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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