应用材料股份有限公司法兰克·辛克莱获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料股份有限公司申请的专利入射角度测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115335954B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180024726.7，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权入射角度测量系统是由法兰克·辛克莱;乔纳森·吉罗德·英格兰;约瑟·C·欧尔森设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本入射角度测量系统在说明书摘要公布了：公开一种能够测量离子束特别是包括较重离子的离子束的入射角度的系统及方法。具体而言，公开一种入射角度测量系统。在一个实施例中，使用X射线而不是离子来确定沟道化方向。在另一实施例中，工件至少部分由具有高分子量的材料构造而成，使得可测量较重离子束。此外，在另一实施例中，在整个束上测量离子束的参数，从而使得离子植入系统的组件能够被进一步调整以形成更均匀的束。
本发明授权入射角度测量系统在权利要求书中公布了：1.一种入射角度测量系统，包括： 离子植入系统，产生宽的离子束； 可移动工件保持器，用于保持工件； 探测器，用于捕获来自所述工件的发射，其中所述探测器包括沿所述离子束的宽度设置的多个传感器，其中沿所述离子束的所述宽度的方向称为X方向；以及 控制器，其中所述控制器旋转所述可移动工件保持器以改变X角度并在多个X角度中的每一者处接收来自所述探测器的输出，且其中在沿所述X方向的多个位置中的每一者处，所述离子束在所述X方向上的入射角度被确定为处于其中从相应传感器接收的所述输出最小的所述X角度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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