三星电子株式会社;株式会社ADEKA柳承旻获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社;株式会社ADEKA申请的专利有机金属加成化合物以及使用其制造集成电路的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113402544B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110210695.6,技术领域涉及:C07F9/09;该发明授权有机金属加成化合物以及使用其制造集成电路的方法是由柳承旻;金在员;朴圭熙;曹仑廷;斋藤和也;小出幸宜;真锅芳树;青木雄太郎;内生藏广幸;布施若菜设计研发完成,并于2021-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本有机金属加成化合物以及使用其制造集成电路的方法在说明书摘要公布了:公开了有机金属加成化合物以及制造集成电路IC器件的方法,该有机金属加成化合物由通式I表示:通式I在通式I中,R1、R2和R3各自独立地为C1至C5烷基,R1、R2和R3中的至少一个为其中至少一个氢原子被氟原子取代的C1至C5烷基,M为铌原子、钽原子或钒原子,X为卤素原子,m为3至5的整数,并且n为1或2。
本发明授权有机金属加成化合物以及使用其制造集成电路的方法在权利要求书中公布了:1.一种由通式I表示的有机金属加成化合物: 通式I 其中,在通式I中, R1、R2和R3各自独立地为三氟甲基、三氟乙基、六氟异丙基或九氟叔丁基, M为铌原子、钽原子或钒原子, X为卤素原子, m为3至5的整数,并且 n为1或2。
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