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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利多光束数字扫描以及图像获取获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115053320B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180012557.5，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权多光束数字扫描以及图像获取是由N.考夫曼;A.阿道夫;V.维乔雷克;C.里德塞尔;N.卡默;S.舒伯特设计研发完成，并于2021-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本多光束数字扫描以及图像获取在说明书摘要公布了：一种多光束带电粒子显微镜和一种操作多光束带电粒子显微镜以进行晶片检验的方法，其具有高产量、高分辨率和高可靠性。该操作方法和该多光束带电粒子束显微镜包含用于根据一选定扫描程序，通过多个带电粒子小射束进行同步扫描操作和图像获取的装置，其中可根据来自不同扫描程序的检验任务，选择该选定扫描程序。

本发明授权多光束数字扫描以及图像获取在权利要求书中公布了：1.一种多光束扫描和图像获取方法707，用于控制在多个J图像子场上的多个J初级带电粒子小射束3的集体扫描，并利用多光束带电粒子显微镜1获取与多个J图像子场相对应的多个J数字图像数据，所述方法包含： -配置步骤710，用于提供多个扫描程序并用于选择一选定扫描程序762； -通用扫描处理步骤720，在该步骤中，接收该选定扫描程序762，并从该选定扫描程序762中产生至少第一序列的预补偿数字扫描命令766和选择控制信号744； -特定扫描偏转控制步骤730，在该步骤中，从该预补偿数字扫描命令766的至少第一序列中产生至少第一放大序列的驱动电压774，并且在该步骤中，将至少第一放大序列的驱动电压774提供给集体偏转步骤742，该集体偏转步骤742用于在样品7的表面25上的所述多个J图像子场上方使多个J初级带电粒子小射束3集体偏转； -图像数据获取步骤750，包含在其期间从一图像传感器单元207收集J起伏电压串流786的模拟数据收集步骤748，其中在该图像数据获取步骤750中，将所述J起伏电压串流786转换成J数字传感器数据串流788，并且使用由该通用扫描处理步骤720所产生并提供的选择控制信号744，从所述J数字传感器数据串流788选择J数字图像数据值串流790，以及该J数字图像数据值串流790被写入至少一个并行存取存储器1816中、在多个J存储器位置61处，以形成与所述多个J图像子场相对应的所述多个J数字图像数据。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。