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龙图腾网获悉宁波南大光电材料有限公司申请的专利一种光刻胶组合物及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112764313B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110089814.7，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种光刻胶组合物及其制备方法是由齐国强;顾大公;岳力挽;李珊珊;马潇;毛智彪;许从应设计研发完成，并于2021-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶组合物及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种光刻胶组合物及其制备方法，该光刻胶组合物包括以下原料：0.1‑10重量组分的光致酸产生剂、10‑30重量组分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A；其中所述光致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂，所述酸扩散抑制剂为含有羟基功能单元和碱性功能单元的酸扩散抑制剂。本发明实施例提供的光刻胶组合物在采用含双酯结构的光致酸产生剂的条件下，通过添加含有羟基功能单元和碱性功能单元的酸扩散抑制剂，进一步改善了光刻胶的线宽粗糙度，提高了光刻胶的分辨率，增强了光刻胶的成膜能力。

本发明授权一种光刻胶组合物及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以下原料：0.1-10重量组分的光致酸产生剂、10-30重量组分的成膜树脂、0.1-5重量组分的酸扩散抑制剂以及55-89.8重量组分的有机溶剂A； 所述光致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂，具体结构通式如下： 其中，通式1中R1、R2为氢原子数1～40且碳原子数为1～20的烷基，Q+为硫鎓盐阳离子或碘鎓盐阳离子； 其中，所述酸扩散抑制剂为： 其中，通式2中n为5-200； 其中，所述含双酯结构的光致酸产生剂的制备方法为： S1、将马来酸酐溶解于有机溶剂B后，加入醇类有机化合物以及催化剂，搅拌均匀后升温进行酯化反应，得到丁二酸酯类化合物；其中，所述醇类有机化合物为饱和醇类有机化合物，所述催化剂为浓硫酸、对甲苯磺酸中的一种或多种； S2、将所述丁二酸酯类化合物与亚硫酸盐在水溶液中混合均匀后升温进行反应，得到双酯基磺酸盐； S3、将所述双酯基磺酸盐与含有硫鎓盐阳离子或碘鎓盐阳离子的水溶液中配合生成所述含双酯结构的光致酸产生剂。

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