周星工程股份有限公司曹源泰获国家专利权
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龙图腾网获悉周星工程股份有限公司申请的专利腔室清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930491B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008126.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权腔室清洗方法是由曹源泰设计研发完成，并于2021-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔室清洗方法在说明书摘要公布了：本公开是关于一种腔室清洗方法，特别是关于一种能够清洗在基板上沉积薄膜的步骤中受污染的腔室的清洗方法。根据一实施例的腔室清洗方法，其中一薄膜沉积于该腔室中，该方法包含：以在该腔室中电浆化的一第一气体主要地清洗该腔室，以及将在该腔室外电浆化的一第二气体提供至该腔室内以活化电浆化的该第一气体，从而次要地清洗该腔室。该第二气体包含不与该第一气体反应的气体。
本发明授权腔室清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种腔室清洗方法，其中一薄膜沉积于所述腔室中，所述方法包含： 以在所述腔室中电浆化的一第一气体执行所述腔室的主要清洗；以及 将在所述腔室外电浆化的一第二气体提供至所述腔室内以活化电浆化的所述第一气体至更高的能量态，从而使用活化的所述第一气体执行所述腔室的次要清洗， 其中，所述第二气体包含不与所述第一气体反应的一气体，且所述第二气体包含氧气。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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