广州集成电路技术研究院有限公司邱奕锦获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广州集成电路技术研究院有限公司申请的专利基板清洗系统及基板清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011599507.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板清洗系统及基板清洗方法是由邱奕锦;孙志源;林清山设计研发完成，并于2020-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板清洗系统及基板清洗方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板清洗系统，包括腔室和设置在腔室内的支撑卡盘和喷淋单元，基板固定在支撑卡盘上；喷淋单元用于将冲洗液喷淋到基板上以对基板进行清洗，其中，喷淋单元包括喷嘴，在喷嘴中设置有以向外倾斜的结构配置的多个排出管，以使通过排出管排出的冲洗液均匀地喷淋到基板的表面。本发明通过可以伸缩的挡板在支撑卡盘不旋转的状态之下来承接漂洗之后的冲洗液，并使其流入到排出层进行处理；喷嘴设计有不同角度的同心圆孔淋浴孔，以保证整个基板有液体流过；在卡盘不旋转时，液体流动缺乏向外的力，因此设计了喷嘴臂旋转来提供液体流动的向外力。
本发明授权基板清洗系统及基板清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种基板清洗系统，其特征在于，包括腔室和设置在所述腔室内的支撑卡盘和喷淋单元，所述基板固定在所述支撑卡盘上；所述喷淋单元用于将冲洗液喷淋到所述基板上以对所述基板进行清洗，其中，所述喷淋单元包括喷嘴，在所述喷嘴中设置有以向外倾斜的结构配置的多个排出管，以使通过所述排出管排出的所述冲洗液均匀地喷淋到所述基板的表面；在沿所述腔室的内壁上在不同高度处配置有多个排出层，以将喷淋在所述基板表面的所述冲洗液导出所述腔室；所述排出层连接有可伸缩挡板，所述支撑卡盘设有与可伸缩挡板卡位连接的开口；所述支撑卡盘可在腔室内垂直上下移动至预设高度，与对应挡板卡接，以实现不同工艺清洁衬底；所述基板清洗系统具有所述支撑卡盘不旋转，且所述挡板卡接于所述开口的第一状态，以及所述支撑卡盘旋转，且所述挡板不卡接于所述开口的第二状态。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广州集成电路技术研究院有限公司，其通讯地址为：511300 广东省广州市增城区宁西街创新大道16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号