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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种基板的传输方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678308B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011561477.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种基板的传输方法及系统是由刘凯;胡松立设计研发完成，并于2020-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板的传输方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板的传输方法及系统。传输方法包括步骤：S101：机械手沿Y轴方向伸入板库，到达第一取板位置；S102：获取基板与X轴平行的边缘的图像信息，计算得到基板在Y轴方向上的第一偏移量，以及绕Z轴的旋转方向Rz上的第一偏转量；获取基板与Y轴平行的边缘的位置信息，计算得到基板在X轴方向上的第二偏移量；X轴、Y轴和Z轴两两垂直；S103：补偿基板在Rz方向上的第一偏转量、在X轴方向上的第二偏移量以及在Y轴方向上的第一偏移量；S104：机械手将基板传输于工作台的第一目标位置。本发明无需单独设置预对准工位进行基板的调节，有助于提高传输效率，使传输系统的结构更加紧凑。

本发明授权一种基板的传输方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基板的传输方法，用于实现基板（201）由板库（102）到工作台（104）的传输，其特征在于，所述传输方法包括如下步骤： S101：机械手（101）沿Y轴方向伸入板库（102），到达第一取板位置； S102：获取基板（201）与X轴平行的边缘的图像信息，计算得到基板（201）在Y轴方向上的第一偏移量，以及绕Z轴的旋转方向Rz上的第一偏转量；获取基板（201）与Y轴平行的边缘的位置信息，计算得到基板（201）在X轴方向上的第二偏移量；X轴、Y轴和Z轴两两垂直； S103：补偿基板（201）在Rz方向上的第一偏转量、在X轴方向上的第二偏移量以及在Y轴方向上的第一偏移量； S104：机械手（101）将基板（201）传输于工作台（104）的第一目标位置； 所述传输方法还用于实现基板（201）由工作台（104）到板库（102）的传输，具体包括以下步骤： S201：机械手（101）到达工作台（104）处的第二取板位置； S202：获取基板（201）与X轴平行的边缘的图像信息，计算得到基板（201）在Y轴方向上的第三偏移量，以及绕Z轴的旋转方向Rz上的第二偏转量；获取基板（201）与Y轴平行的边缘的位置信息，计算得到基板（201）在X轴方向上的第四偏移量； S203：机械手（101）将基板（201）放回板库（102）之前，补偿基板（201）在Rz方向上的第二偏转量和在X轴方向上的第四偏移量； S204：机械手（101）沿Y轴方向进入板库（102），并补偿基板（201）在Y轴方向上的第三偏移量； S205：机械手（101）将基板（201）传输于板库（102）的第二目标位置； 基板（201）与Y轴平行的边缘的位置信息通过以下方式获取： 获取基板（201）与Y轴平行的边缘的图像信息；或 通过检测机构获取基板（201）与Y轴平行的边缘与检测机构在X轴方向上的间距。

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