日本碍子株式会社海老个濑隆获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利接合基板以及接合基板的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114600237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080074183.5,技术领域涉及:H01L23/498;该发明授权接合基板以及接合基板的制造方法是由海老个濑隆;增田泉;贺来健设计研发完成,并于2020-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本接合基板以及接合基板的制造方法在说明书摘要公布了:本发明得到一种提高氮化硅陶瓷基板与接合层的密接强度,具有高冷热耐久性但不产生迁移的接合基板。接合基板具备氮化硅陶瓷基板、铜板、接合层以及进入区域。铜板以及接合层被图案形成为给定的形状而配置在氮化硅陶瓷基板的主面上。接合层将铜板与氮化硅陶瓷基板的主面接合。进入区域由从基板主面连续并进入氮化硅陶瓷基板的内部直至3μm以上且20μm以下的深度的一个或多个进入部构成,包含银,在基板主面的每1mm2存在1个以上且30个以下的进入区域。
本发明授权接合基板以及接合基板的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种接合基板,其特征在于,具备: 氮化硅陶瓷基板; 铜板,其配置在所述氮化硅陶瓷基板的主面上,并被图案形成为给定的形状; 接合层,其根据所述铜板的图案形成的形状配置在所述主面上,并将所述铜板与所述主面接合;以及 多个进入区域,由从所述主面连续并进入所述氮化硅陶瓷基板的空隙的至少一部分直至3μm以上且20μm以下的深度的一个或多个进入部构成, 所述进入区域包含银,在所述主面的每1mm2中存在1个以上且30个以下的所述进入区域。
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