江苏雷博科学仪器有限公司汪竹获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏雷博科学仪器有限公司申请的专利导轨式去胶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112435947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011298875.6,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权导轨式去胶机是由汪竹;陈酉冰;魏益波;钱燕娟设计研发完成,并于2020-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本导轨式去胶机在说明书摘要公布了:本发明一种导轨式去胶机,包含有安装于机台(101)一侧的片盒单元(102)和去胶单元(103),两个片盒单元(102)分别位于去胶单元(103)的两侧,机台(101)另一侧的滑轨(104)上滑动设置有滑动模组(105),滑动模组(105)上安装吸附机构(106);所述片盒单元(102)包含有安装于升降模组(2.2)上的升降台板(2.1),所述升降台板(2.1)上堆叠有盒体(2.3)。本发明一种导轨式去胶机,结构紧凑、设计合理且体积小巧。
本发明授权导轨式去胶机在权利要求书中公布了:1.一种导轨式去胶机,其特征在于:包含有安装于机台(101)一侧的片盒单元(102)和去胶单元(103),两个片盒单元(102)分别位于去胶单元(103)的两侧,机台(101)另一侧的滑轨(104)上滑动设置有滑动模组(105),滑动模组(105)上安装吸附机构(106); 所述片盒单元(102)包含有安装于升降模组(2.2)上的升降台板(2.1),所述升降台板(2.1)上堆叠有盒体(2.3);所述去胶单元(103)包含有安装于机台(101)上的固定板(3.1),所述固定板(3.1)上安装有方腔(3.2),所述方腔(3.2)内设置有顶升腔(3.3),所述顶升腔(3.3)内的载物盘上设置有晶圆环(3.4),旋转主轴(3.5)插入方腔(3.2)内的一端穿过顶升腔(3.3)后驱动载物盘上的晶圆环(3.4)旋转,腔体顶伸杆(3.6)的顶部穿入方腔(3.2)内的一端与顶升腔(3.3)的顶部外壁相连,晶圆环顶升杆(3.7)的顶部穿入方腔(3.2)内的一端、穿过顶升腔(3.3)后与晶圆环(3.4)的底面相连接;且晶圆环顶升杆(3.7)的底部安装于顶升座(3.8)上。
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