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上海微电子装备(集团)股份有限公司刘凯获国家专利权

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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种片盒及片盒定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114496864B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011253391.X,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种片盒及片盒定位装置是由刘凯;付红艳;刘浩;王刚设计研发完成,并于2020-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种片盒及片盒定位装置在说明书摘要公布了:本发明属于光刻技术领域,具体公开了一种片盒和片盒定位装置。片盒开设有容纳基底的容纳槽,片盒的底部沿X方向贯通设置有避让槽,避让槽的槽底凸设有定位条,片盒具有与X方向垂直的定位面,容纳槽具有贯通定位面的槽口,基底能通过槽口进入或退出容纳槽。片盒定位装置用于定位如上的片盒,且包括承载板,承载板上沿X方向设置有至少两个定位槽,不同尺寸的片盒的定位条能插入设定的定位槽中;片盒定位装置具有检测面,当片盒装载在承载板上时,检测面与定位面重合。本发明公开的片盒及片盒定位装置,能够提高片盒定位装置对不同规格片盒的兼容性。

本发明授权一种片盒及片盒定位装置在权利要求书中公布了:1.一种片盒定位装置,用于定位片盒,所述片盒开设有容纳基底(3)的容纳槽(114),所述片盒的底部沿X方向贯通设置有避让槽(16),所述避让槽(16)的槽底凸设有定位条(14),所述片盒具有与所述X方向垂直的定位面(115),所述容纳槽(114)具有贯通所述定位面(115)的槽口,所述基底(3)能通过所述槽口进入或退出所述容纳槽(114),其特征在于,所述片盒定位装置(2)包括承载板(21),所述承载板(21)上沿所述X方向设置有至少两个定位槽(231),不同规格的所述片盒的所述定位条(14)能插入设定的所述定位槽(231)中,且不同规格的所述片盒对应的设定定位槽不完全相同,所述定位槽(231)沿所述X方向的槽宽等于对应所述定位条(14)沿所述X方向的宽度; 所述片盒定位装置(2)具有与所述X方向垂直的检测面,当所述片盒装载在所述承载板(21)上时,所述检测面与所述定位面(115)重合; 所述承载板(21)上设置有前挡板(29),所述前挡板(29)位于所述片盒(1)的前侧且沿Y方向设置,所述前挡板(29)包括相对YZ平面倾斜设置的导向板部(291),所述导向板部(291)凸出所述承载板(21)的上表面,且所述导向板部(291)由下至上沿远离所述检测面及所述片盒(1)的方向倾斜设置; 所述承载板(21)上还设置有Y向定位结构,所述Y向定位结构用于定位所述片盒在所述承载板(21)上的Y向位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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