JSR株式会社山田裕也获国家专利权
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龙图腾网获悉JSR株式会社申请的专利化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114667593B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078357.5，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法是由山田裕也;王鹏宇;杉江纪彦;亀井康孝设计研发完成，并于2020-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种化学机械研磨组合物及化学机械研磨方法，能够高速且平坦地研磨含有钨、钴等导电体金属的半导体基板、且能够减少研磨后的表面缺陷。本发明的化学机械研磨用组合物含有：A包含下述通式1表示的官能基的二氧化硅粒子；以及B硅烷化合物。‑COO‑M+·····1M+表示一价阳离子。
本发明授权化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨用组合物，包含： （A）成分：包含下述通式（1）表示的官能基的二氧化硅粒子；以及 （B）成分：硅烷化合物， -COO－M+ （1） M+表示一价阳离子， 将化学机械研磨用组合物的总质量设为100质量%时，所述（A）成分的含量为0.1质量%以上且10质量%以下，所述（B）成分的含量为0.0001质量%以上且0.02质量%以下。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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