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FEI 公司M·昂科夫斯基获国家专利权

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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利用于电子显微镜的导光组件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112509897B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010967585.X,技术领域涉及:H01J37/29;该发明授权用于电子显微镜的导光组件是由M·昂科夫斯基;M·格里克;J·拉斯科设计研发完成,并于2020-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

用于电子显微镜的导光组件在说明书摘要公布了:用于电子显微镜的导光组件。本公开描述了包括有效耦合在一起的电子柱极靴和导光组件的电子显微镜系统的实施例。该导光组件还包含一个或多个检测器,以及具有限压孔的反射镜,来自电子源的电子束穿过该限压孔。所述反射镜还被配置为可以反射光以及收集反向散射的电子和次级电子。

本发明授权用于电子显微镜的导光组件在权利要求书中公布了:1.一种电子显微镜系统,其包括: 电子柱极靴;和 导光组件,其有效耦合至所述电子柱极靴,并包括一个或多个检测器,以及反射镜,其包括限压孔,来自电子源的电子束穿过所述限压孔,其中,所述反射镜被配置为反射光,收集反向散射电子和次级电子,并且将所述反向散射电子转换为次级电子。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人FEI 公司,其通讯地址为:美国俄勒冈州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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