买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利检查系统以及检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114365270B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063818.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权检查系统以及检查方法是由小西显太朗设计研发完成，并于2020-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本检查系统以及检查方法在说明书摘要公布了：提供一种检查系统,具有:第一冷却单元,其用于供给被控制为第一温度的第一热介质；第二冷却单元,其用于供给被控制为比上述第一温度低的第二温度的第二热介质；载置台,其设有流路,该流路被供给将上述第一热介质和上述第二热介质混合为期望的混合比的热介质；以及控制部,该检查系统用于对载置于上述载置台上的基板进行检查,上述控制部控制以下工序:测定工序,其对上述流路的入口处的上述热介质的温度和上述流路的出口处的上述热介质的温度进行测定；以及校正工序,其基于上述入口处和出口处的上述热介质的温度的差值以及上述热介质的流量,对上述第一热介质与上述第二热介质的上述混合比进行校正。

本发明授权检查系统以及检查方法在权利要求书中公布了：1.一种检查系统,具有: 第一冷却单元,其用于供给被控制为第一温度的第一热介质； 第二冷却单元,其用于供给被控制为比上述第一温度低的第二温度的第二热介质； 载置台,其设有流路,该流路被供给将上述第一热介质和上述第二热介质混合为期望的混合比的混合后热介质；以及 控制部, 该检查系统用于对载置于上述载置台上的基板进行检查, 上述控制部控制以下工序: 测定工序,其对上述流路的入口处的上述混合后热介质的温度和上述流路的出口处的上述混合后热介质的温度进行测定； 计算工序,其基于上述流路的入口处和上述流路的出口处的上述混合后热介质的温度的差值以及流经上述流路的上述混合后热介质的流量,对上述基板的发热量进行计算；以及 校正工序，其基于上述发热量，对上述第一热介质与上述第二热介质的上述混合比进行校正，以对上述基板的温度进行调整， 上述控制部对测定上述流路的入口处的上述混合后热介质的压力和上述流路的出口处的上述混合后热介质的压力的工序进行控制, 上述控制部根据上述流路的入口处和上述流路的出口处的上述混合后热介质的压力的差值,求得上述混合后热介质的上述流量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。