ASML控股股份有限公司L·雷日科夫获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML控股股份有限公司申请的专利具有远心转换器的放大率恒定的多级光学装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114391125B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063621.8，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权具有远心转换器的放大率恒定的多级光学装置是由L·雷日科夫;Y·乌拉迪米尔斯基设计研发完成，并于2020-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有远心转换器的放大率恒定的多级光学装置在说明书摘要公布了：一种预对准系统，所述预对准系统包括被配置成收集来自图案形成装置的衍射束的公共物镜组，其中公共物镜组还被配置成在预对准系统的物空间中产生远心度。预对准系统还包括具有至少一个图像透镜系统的多路径传感阵列，其中至少一个图像透镜系统包括远心转换器透镜，所述远心转换器透镜被配置成在预对准系统的像空间中产生远心度。
本发明授权具有远心转换器的放大率恒定的多级光学装置在权利要求书中公布了：1.一种具有至少两个通道的预对准系统，包括： 公共物镜组，所述公共物镜组被配置成收集来自图案形成装置的衍射束，其中所述公共物镜组还被配置成在所述预对准系统的物空间中产生远心度； 多路径传感阵列，所述多路径传感阵列包括至少一个图像透镜系统，其中所述至少一个图像透镜系统包括： 远心转换器透镜，所述远心转换器透镜被配置成在所述预对准系统的像空间中产生远心度；以及 用于所述至少一个图像透镜系统中的每个图像透镜系统的检测器，其中所述检测器被配置成基于所述衍射束而产生预对准信号； 其中所述至少两个通道对所述图案形成装置的不同光学特性提供分析和测量，并且针对每个通道定制所述远心转换器透镜的三维轮廓或形状。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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