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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利薄膜体声波谐振器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113938108B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010674969.2，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权薄膜体声波谐振器及其制造方法是由黄河设计研发完成，并于2020-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本薄膜体声波谐振器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中，薄膜体声波谐振器包括：层叠的第一电极、压电层和第二电极，有效谐振区包括所述第一电极、压电层和第二电极在垂直于所述压电层表面方向上相互重叠的区域，所述有效谐振区的外部为无效区；第一介质层，所述第一介质层的上表面与所述第一电极的下表面之间设有第一间隙；第二介质层，所述第二介质层的下表面与所述第二电极的上表面之间设有第二间隙；第一导电凸起，一端设置于所述第一电极的下表面，另一端连接有第一电极引出部；第二导电凸起，一端设置于所述第二电极的上表面，另一端连接有第二电极引出部。本发明能够提高谐振器的品质因数。

本发明授权薄膜体声波谐振器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括： 层叠的第一电极、压电层和第二电极，有效谐振区包括所述第一电极、压电层和第二电极在垂直于所述压电层表面方向上相互重叠的区域，所述有效谐振区的外部为无效区； 第一介质层，所述第一介质层的上表面与所述第一电极的下表面之间设有第一间隙； 第二介质层，所述第二介质层的下表面与所述第二电极的上表面之间设有第二间隙； 第一导电凸起，一端设置于所述第一电极的下表面，另一端连接有第一电极引出部； 第二导电凸起，一端设置于所述第二电极的上表面，另一端连接有第二电极引出部； 所述第一电极位于所述第一间隙的边界围成的区域内，或者二者边界重合； 和或， 所述第二电极位于所述第二间隙的边界围成的区域内，或者二者边界重合； 所述第一间隙和所述第二间隙通过分布于所述无效区的多个通孔连通； 或者，所述第一间隙、第二间隙通过包围有效区的环形通孔连通； 所述压电层包括谐振部和位于所述谐振部外周的搭接部，所述谐振部至少部分位于所述有效谐振区，所述搭接部位于所述有效谐振区外，所述谐振部与所述搭接部相接或分离； 所述搭接部和所述谐振部相互分离，所述第一间隙和所述第二间隙连通成空腔，所述谐振部的外周暴露在所述空腔中。

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