卡尔蔡司SMT有限责任公司D.巴德获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114072731B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080047597.9,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置是由D.巴德设计研发完成,并于2020-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置在说明书摘要公布了:本发明涉及用于产生微光刻的第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置,其中第二部件是光学元件。方法包括以下步骤:将第一部件和第二部件引入到定位装置100中,其可以改变第一部件与第二部件之间的相对位置;校准第一相对位置,在第一相对位置,第一部件与第二部件之间的距离具有限定预定义粘合间隙的第一值;校准第二相对位置,在第二相对位置,第一部件与第二部件之间的距离具有大于所述第一值的第二值;在第一部件和第二部件彼此之间相距大于所述第一值的距离时将粘合剂26施加到第一部件;以及在第一部件与第二部件之间形成粘合接合时设置第一相对位置;其中,校准第一相对位置和校准第二相对位置两者仍然在将粘合剂施加到第一部件之前实行。
本发明授权产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种用于产生微光刻的第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法,其中,所述第二部件是光学元件,并且其中所述方法包括以下步骤: a将所述第一部件和所述第二部件引入到定位装置100中,其能够改变第一部件与第二部件之间的相对位置; b校准第一相对位置,在所述第一相对位置,第一部件与第二部件之间的距离具有限定预定义粘合间隙的第一值; c校准第二相对位置,在所述第二相对位置,第一部件与第二部件之间的距离具有大于所述第一值的第二值; d在第一部件和第二部件彼此之间相距大于所述第一值的距离时将粘合剂26施加到所述第一部件;以及 e在第一部件与第二部件之间形成所述粘合接合时设置所述第一相对位置; 其中,校准所述第一相对位置和校准所述第二相对位置两者仍然在将所述粘合剂26施加到所述第一部件之前实行。
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