东京毅力科创株式会社小泉克之获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利温度调整装置、基板处理装置以及控制载置台的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112053971B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010476790.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权温度调整装置、基板处理装置以及控制载置台的控制方法是由小泉克之设计研发完成，并于2020-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度调整装置、基板处理装置以及控制载置台的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供温度调整装置、基板处理装置以及控制载置台的控制方法。该温度调整装置具备：载置台，其具有多个加热部和多个温度检测部，所述多个加热部设置于在径向和周向上分别具有至少两个以上的单独区段的区段区域内的每个所述单独区段，所述多个温度检测部设置于多个所述单独区段，且数量比所述单独区段的数量少；以及控制装置，其根据所述温度检测部检测出的温度来控制在第一单独区段和第二单独区段设置的所述加热部，所述第一单独区段是设置有所述温度检测部的单独区段，所述第二单独区段是与所述第一单独区段同步地进行控制且未设置所述温度检测部的单独区段，其中，所述控制装置具有切换与所述第一单独区段同步地进行控制的第二单独区段的切换部。
本发明授权温度调整装置、基板处理装置以及控制载置台的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种温度调整装置，具备： 载置台，其具有多个加热部和多个温度检测部，所述多个加热部设置于在径向和周向上分别具有至少两个以上的单独区段的区段区域内的每个所述单独区段，所述多个温度检测部设置于多个所述单独区段，并且所述多个温度检测部的数量比所述单独区段的数量少；以及 控制装置，其根据所述温度检测部检测出的温度，来控制在第一单独区段设置的所述加热部和在第二单独区段设置的所述加热部，所述第一单独区段是设置有所述温度检测部的单独区段，所述第二单独区段是与所述第一单独区段同步地进行控制且未设置所述温度检测部的单独区段， 其中，所述控制装置具有切换部，该切换部切换与所述第一单独区段同步地进行控制的第二单独区段， 其中，所述切换部在与所述第一单独区段在径向上相邻的所述单独区段以及与所述第一单独区段在周向上相邻的所述单独区段之间切换所述第二单独区段， 设置有所述温度检测部的单独区段和未设置所述温度检测部的单独区段在所述径向和所述周向上交替地设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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