欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔尤尔根·格温伯格获国家专利权
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龙图腾网获悉欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔申请的专利用于保持待处理工件的移动式工件承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114008757B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080045253.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于保持待处理工件的移动式工件承载装置是由尤尔根·格温伯格;齐格弗里德·克拉斯库茨设计研发完成，并于2020-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于保持待处理工件的移动式工件承载装置在说明书摘要公布了：一种要安装在真空处理系统的真空室内的工件承载装置，包括：‑具有直径dX的转台X；‑一个或多个具有直径dYmdX的转台Ym，其能被安装在转台X上；‑一个或多个具有直径dZn≤dYm的工件支架Zn，其能安装在所述一个或多个转台Ym上；‑两个致动器A1和A2。
本发明授权用于保持待处理工件的移动式工件承载装置在权利要求书中公布了：1.一种工件承载装置，用于保持要安装在真空处理系统的真空室内的待处理的工件，包括： -一个具有直径dX的转台X， -一个或多个具有直径dYm的转台Ym，其能安装在所述转台X上，所述直径dYm所述直径dX， -一个或多个具有直径dZn的工件支架Zn，其能安装在所述一个或多个转台Ym上，所述直径dZn≤所述直径dYm， -第一致动器A1和第二致动器A2， 其特征是，在所述第一致动器A1、所述第二致动器A2与转台X和转台Ym之间的强制连接利用传动机构按以下方式来建立，其允许该真空处理系统的至少两种工作模式，其中， -在模式1中，第一致动器A1被提供动力而第二致动器A2未被提供动力，使得转台X绕其中心旋转轴线Rx转动，并且， -在模式2中，第一致动器A1未被提供动力而第二致动器A2被提供动力，使得转台Ym绕其中心旋转轴线RYm转动，而转台X原地不动，并且 壁布置在一个转台Ym的旁边或者多个转台Ym之间，其中，所述壁竖向安装在一个转台Ym的旁边或者多个转台Ym之间并且安装在转台X上方，其中，所述壁显示出高度和宽度，它足以完全地将安装有一个转台Ym的区段与相邻区段分开。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，其通讯地址为：瑞士普费菲孔；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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