细美事有限公司吴斗荣获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210300801.4，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权基板处理设备及基板处理方法是由吴斗荣;李俊宰设计研发完成，并于2018-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备及基板处理方法在说明书摘要公布了：公开了一种基板处理设备和基板处理方法。根据本发明构思的实施例，在将喷嘴臂从第一基板支承构件移动到第二基板支承构件的情况下执行吹扫喷嘴的吹扫操作，几乎不影响在将喷嘴臂从第一基板支承构件移动到第二基板支承构件的情况下处理基板的操作。根据本发明构思的实施例，处理液供应单元执行向基板供应感光液的过程的情况下基板处理设备可执行吹扫感光液喷嘴的操作。因此，因为当基板处理设备执行过程的同时执行吹扫感光液喷嘴的操作，可提高生产率。
本发明授权基板处理设备及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种使用基板处理设备的基板处理方法，所述基板处理设备包括： 第一基板支承构件，所述第一基板支承构件用于支承基板； 第二基板支承构件，所述第二基板支承构件用于支承基板； 喷嘴臂，所述喷嘴臂在所述第一基板支承构件与所述第二基板支承构件之间移动，并且所述喷嘴臂具有安装在其上的多个喷嘴；以及 吹扫口，所述吹扫口定位在所述第一基板支承构件与所述第二基板支承构件之间移动的所述喷嘴臂的移动路径中，并且 所述基板处理方法包括： 通过从所述多个喷嘴中的任一者向所述基板排出处理液来处理所述基板，所述基板由所述第一基板支承构件或所述第二基板支承构件支承；以及 通过从作为所述多个喷嘴之一的吹扫喷嘴向所述吹扫口排出所述处理液来执行吹扫操作，而在所述多个喷嘴之一向由所述第一基板支承构件支承的基板排出所述处理液之后，所述喷嘴臂被移动至所述第二基板支承构件； 其中，所述吹扫喷嘴是所述喷嘴中除了在所述喷嘴臂从第一基板支承构件移动至所述第二基板支承构件之后立即向由所述第二基板支承构件支承的所述基板排出所述处理液的喷嘴之外的喷嘴。
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