南京埃米仪器科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉南京埃米仪器科技有限公司申请的专利一种全内反射晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120314333B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510797688.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种全内反射晶圆检测装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全内反射晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种全内反射晶圆检测装置，包括相机、激光、反射棱镜、圆形光阑、支撑柱和折射锥，激光进入反射棱镜改变方向为竖直向上，在竖直向上的激光光路上设置遮挡的激光中心部分形成环形激光的圆形光阑，环形激光通过折射锥折射进入待测的晶圆的内部，在待测的晶圆内部进行全反射，当遇到晶圆内部缺陷以及表面脏污，则由其散射出晶圆，被相机检测，支撑柱位于折射锥与圆形光阑之间，待测的晶圆置于折射锥上；相机设置在待测的晶圆的上方；折射锥的锥角使得折射进入待测的晶圆的反射角为大于全反射角。优点，本发明装置，通过激光进入晶圆，由中心向晶圆外圈进行全反射探测，达到比从晶圆边缘进行探测的方法效率更高、探测精度更高。
本发明授权一种全内反射晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种全内反射晶圆检测装置，其特征在于，包括相机（1）、激光（2）、反射棱镜（3）、圆形光阑（4）、支撑柱（5）和折射锥（6），激光（2）进入反射棱镜（3）改变方向为竖直向上，在竖直向上的激光光路上设置遮挡的激光中心部分形成环形激光的圆形光阑（4），环形激光（8）通过折射锥（6）折射进入待测的晶圆（7）的内部，在待测的晶圆（7）内部进行全反射，当遇到晶圆内部缺陷以及表面脏污，则由其散射出晶圆，被相机（1）检测，支撑柱（5）位于折射锥（6）与圆形光阑（4）之间，待测的晶圆（7）置于折射锥（6）上；所述相机（1）设置在待测的晶圆（7）的上方；所述折射锥（6）的锥角使得折射进入待测的晶圆（7）的反射角为大于全反射角； 所述折射锥（6）的锥角的计算公式如下： （9） 其中，为折射进入待测的晶圆（7）的反射角，为空气折射率，为折射锥（6）的折射率，为待测的晶圆（7）的折射率。
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