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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利晶圆检测设备及晶圆检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120314331B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510789713.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆检测设备及晶圆检测方法是由胡俊林;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测设备及晶圆检测方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆检测设备及检测方法，用于解决如何提升晶圆检测效率问题。晶圆检测设备包括：双面检测单元，双面检测单元包括：扫描载台、正面光学成像模块与背面光学成像模块，扫描载台可沿第一方向直线移动；正面光学成像模块与背面光学成像模块分别设置在扫描载台的相对两侧，并分别设置有背面明场光源和背面暗场光源；当扫描载台沿第一方向的正方向移动时，正面明场光源和背面明场光源同步开启，正面光学成像模块和背面光学成像模块分别生成晶圆正面和背面的明场图像；当扫描载台沿第一方向的负方向移动时，正、背面暗场光源同步开启，正面光学成像模块和背面光学成像模块分别生成晶圆正面和背面的暗场图像。

本发明授权晶圆检测设备及晶圆检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括：双面检测单元，所述双面检测单元包括： 扫描载台，用于放置晶圆并沿第一方向直线移动；以及 正面光学成像模块与背面光学成像模块，分别设置在扫描载台的相对两侧，所述正面光学成像模块设置有正面明场光源和正面暗场光源，所述背面光学成像模块设置有背面明场光源和背面暗场光源； 其中，当所述扫描载台沿第一方向的正方向移动时，所述正面明场光源和背面明场光源同步开启，所述正面光学成像模块生成晶圆正面的明场图像，所述背面光学成像模块生成晶圆背面的明场图像；当所述扫描载台沿第一方向的负方向移动时，所述正面暗场光源和背面暗场光源同步开启，所述正面光学成像模块生成晶圆正面的暗场图像，所述背面光学成像模块生成晶圆背面的暗场图像； 所述正面光学成像模块与背面光学成像模块，分别设置在所述扫描载台的上方和下方；所述扫描载台遮挡晶圆背面的部分区域； 所述晶圆检测设备还包括旋转升降装置，所述旋转升降装置设置于扫描载台下方，所述旋转升降装置在扫描载台沿第一方向的正方向和负方向移动后，抬升晶圆并旋转第一角度，使被扫描载台遮挡的晶圆背面的部分区域露出； 所述背面光学成像模块生成旋转后的晶圆背面的明场图像和暗场图像，并通过将晶圆背面旋转前、后的图像拼接生成完整的晶圆背面图像。

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