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苏州大学梁福生获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120256810B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510757171.7,技术领域涉及:G06F17/18;该发明授权一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统是由梁福生;黎凯;付江波;樊成;陈涛;李阳;王佳奇设计研发完成,并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统,属于固晶机热误差预测技术领域,方法包括获取固晶机X轴上多个热误差测量点处的热误差,测量所述热误差时测得的固晶机上多个温度测量点处的温度,以及,固晶机上待预测位置与X轴起点的距离;基于所述温度和所述热误差的相关性,从所有温度测量点中筛选出各个热误差测量点对应的多个备选温度敏感点,从所有备选温度敏感点中筛选出最终的多个温度敏感点;将所述距离和多个温度敏感点处的温度输入到线性回归模型,计算待预测位置的热误差。本发明通过同时考虑温度和位置因素实现固晶机热误差的精确预测,通过温度敏感点的筛选提高预测精确度。

本发明授权一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统在权利要求书中公布了:1.一种固晶机热误差预测方法,其特征在于,包括: 获取固晶机X轴上多个热误差测量点处的热误差,测量所述热误差时测得的固晶机上多个温度测量点处的温度,以及,固晶机上待预测位置与X轴起点的距离; 基于所述温度和所述热误差的相关性,从所有温度测量点中筛选出各个热误差测量点对应的多个备选温度敏感点,从所有备选温度敏感点中筛选出最终的多个温度敏感点; 将所述距离和多个温度敏感点处的温度输入到线性回归模型,计算待预测位置的热误差;其中,所述线性回归模型是基于待预测位置与X轴起点的距离和温度敏感点处的温度之间的关系构建的; 若温度敏感点为三个,则所述线性回归模型的表达式为: (6); (7); (8); (9); (10); 其中,Ex是与固晶机X轴起点的距离为x毫米处的热误差,ax是与固晶机X轴起点的距离为x毫米的待预测位置对应的常数系数,bx是与固晶机X轴起点的距离为x毫米的待预测位置对应的T*1的系数,cx是与固晶机X轴起点的距离为x毫米的待预测位置对应的T*2的系数,dx是与固晶机X轴起点的距离为x毫米的待预测位置对应的T*3的系数,T*1是第1个温度敏感点处的温度,T*2是第2个温度敏感点处的温度,T*3是第3个温度敏感点处的温度,x是待预测位置与距固晶机X轴起点的距离,单位为毫米,是用于计算ax的一元线性回归模型的斜率,是用于计算ax的一元线性回归模型的常数项,是用于计算bx的一元线性回归模型的斜率,是用于计算bx的一元线性回归模型的常数项,是用于计算cx的一元线性回归模型的斜率,是用于计算cx的一元线性回归模型的常数项,是用于计算dx的一元线性回归模型的斜率,是用于计算dx的一元线性回归模型的常数项。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州大学,其通讯地址为:215200 江苏省苏州市吴江区久泳西路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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