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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利迈克尔逊干涉仪及微小件形貌检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510732111.X，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权迈克尔逊干涉仪及微小件形貌检测方法是由陈煜茗;康一明;崔永辉;张焓;林思彤;刘昊昀;徐成;闫婷婷;沈洋设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本迈克尔逊干涉仪及微小件形貌检测方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种迈克尔逊干涉仪及微小器件形貌检测方法，干涉仪包括两路干涉光路。第一干涉光路中，第一光源的光束经第一分束镜分束，一束反射到待测物，另一束透射到第一测试反射镜，两束光分别返回至第一分束镜发生干涉，第一图像采集系统接收第一干涉图像；第二干涉光路中，第二光源的光束经第二分束镜分束，一束反射到校准反射镜，另一束透射到第二测试反射镜，两束光分别返回至第二分束镜发生干涉，第二图像采集系统接收第二干涉图像；两路干涉光路共用同一压电陶瓷，压电陶瓷控制第一测试反射镜和第二测试反射镜的位移。本申请能够基于第二干涉图像对第一干涉图像进行修正，基于修正的第一干涉图像进行图像复原，获得待测物的表面形貌。

本发明授权迈克尔逊干涉仪及微小件形貌检测方法在权利要求书中公布了：1.一种迈克尔逊干涉仪，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪包括： 第一迈克尔逊干涉光路，包括第一光源、工作台、第一分束镜、第一测试反射镜和第一图像采集系统，所述工作台用于放置待测物，所述第一光源发射的光束经过所述第一分束镜分束，一束反射到所述待测物表面，另一束透射到所述第一测试反射镜，两束光分别经过所述待测物和所述第一测试反射镜的反射返回，于所述第一分束镜处发生干涉，所述第一图像采集系统接收第一干涉图像； 第二迈克尔逊干涉光路，包括第二光源、校准反射镜、第二分束镜、第二测试反射镜和第二图像采集系统，所述第二光源发射的光束经过所述第二分束镜分束，一束反射到所述校准反射镜表面，另一束透射到所述第二测试反射镜，两束光分别经过所述校准反射镜和所述第二测试反射镜的反射返回，于所述第二分束镜处发生干涉，所述第二图像采集系统接收第二干涉图像； 所述第一迈克尔逊干涉光路和所述第二迈克尔逊干涉光路共用同一压电陶瓷，所述压电陶瓷被配置为用于控制所述第一测试反射镜和第二测试反射镜的位移。

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