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龙图腾网获悉浙江斯凯沃微电子有限公司申请的专利一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120253584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510724885.8，技术领域涉及：G01N15/00；该发明授权一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法是由何波;杨阳;凌观爽设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及材料检测技术领域，具体为一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法，包括通过颗粒大小识别模型识别抛光液中颗粒的粒径信息；结合不同的光学激发条件对检测区域中颗粒进行动态激发；同步采集颗粒经过动态激发后产生的第一激发响应、第二激发响应和第三激发响应；设定第四激发条件对颗粒进行静态激发，并检测颗粒经过静态激发后产生的第四激发响应；将第一激发响应、第二激发响应、第三激发响应和第四激发响应进行组合，形成多模态颗粒特征向量；将多模态颗粒特征向量与预设金刚石模型进行匹配，识别出金刚石颗粒并区分非金刚石杂质颗粒，输出金刚石颗粒的浓度与粒径分布信息。

本发明授权一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统，其特征在于，包括： 颗粒大小识别模块，用于将抛光液以预设速率引导至检测区域，并通过颗粒大小识别模型识别抛光液中颗粒的粒径信息； 动态激发模块，用于结合不同的光学激发条件对检测区域中颗粒进行动态激发；光学激发条件包括第一激发条件、第二激发条件和第三激发条件；第一激发条件为设定M个不同的激光波长进行照射；第二激发条件为设定N个不同的激光入射角度进行照射；第三激发条件包括第一偏振角度、第二偏振角度和第三偏振角度；第三激发条件基于所述粒径信息进行动态调整，具体包括：若粒径信息小于预设第一阈值，则选择第一偏振角度；若粒径信息大于和或等于预设第一阈值且小于和或等于预设第二阈值时，则选择第二偏振角度；若粒径信息大于预设第二阈值，则选择第三偏振角度； 动态激发响应采集模块，用于同步采集颗粒经过动态激发后产生的第一激发响应、第二激发响应和第三激发响应； 静态激发与检测模块，用于设定第四激发条件对颗粒进行静态激发，并检测颗粒经过静态激发后产生的第四激发响应；第四激发条件为使用预设波长的紫外光源进行持续照射，激发颗粒的荧光响应，得到第四激发响应； 特征分析与识别模块，包括模型匹配与分类单元，用于将第一激发响应、第二激发响应、第三激发响应和第四激发响应进行组合，形成多模态颗粒特征向量；模型匹配与分类单元通过监督式机器学习算法将多模态颗粒特征向量与预设金刚石模型进行匹配，输出颗粒为金刚石和非金刚石杂质的分类结果和置信度，识别出金刚石颗粒并区分非金刚石杂质颗粒；根据分类结果和置信度输出金刚石颗粒的浓度与粒径分布信息；预设金刚石模型基于已知金刚石颗粒和典型杂质颗粒数据训练得到。

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