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龙图腾网获悉成都思越智能装备股份有限公司申请的专利晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120237076B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510703352.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法是由赵建普;曾贤设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法在说明书摘要公布了：本发明提供了晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法，涉及晶圆搬运技术领域，包括：安装基座组件，包括，第一安装板、第二安装板和安装座；主动调整组件，包括调节板，所述调节板位于所述第一安装板和第二安装板之间且其一侧与角度倾转装置连接，还包括若干组伸缩调整装置以及若干组弹性支撑装置，通过所述伸缩调整装置和所述弹性支撑装置上下夹持固定所述调节板和放置于调节板上的末端执行器，以实现调节板及末端执行器相对于安装基座组件的俯仰和横倾动作，通过以上设置，实现了末端执行器俯仰和横倾角度的主动调整功能，提高了适用性和结构紧凑性，保证了运行稳定性和调整精确度。

本发明授权晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法在权利要求书中公布了：1.晶圆搬运末端执行器位姿调整机构，其特征在于，包括： 安装基座组件，包括，第一安装板、第二安装板和安装座，所述第一安装板和第二安装板平行设置于安装座上下两侧； 主动调整组件，包括用于支撑末端执行器的调节板，所述调节板位于所述第一安装板和第二安装板之间且其一侧与设置在所述安装座中的角度倾转装置连接，还包括若干组安装于第一安装板的伸缩调整装置以及若干组安装于第二安装板的弹性支撑装置，所述伸缩调整装置具有上下往复移动的伸缩杆且端部与调节板下表面抵接，所述弹性支撑装置包括穿设于第二安装板的导向柱以及套设于导向柱上的压缩弹簧，通过所述伸缩调整装置和所述弹性支撑装置上下夹持固定所述调节板和放置于调节板上的末端执行器，以实现调节板及末端执行器相对于安装基座组件的俯仰和横倾动作； 所述角度倾转装置包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件为中空环形结构，其内圈上下两侧相对设置有第一平台，所述第一平台设置有第一限位部，所述第二连接件为中空环形结构，其外圈上下两侧均设置有第二平台，所述第二平台设置有与所述第一限位部适配的第二限位部，所述第二连接件嵌套于所述第一连接件内圈且两者外圆周所在平面相互垂直设置，所述第一连接件外圈与设置在所述安装座中的横倾轴承过盈配合，所述第二连接件内圈设置有俯仰轴承，所述调节板通过连接部与俯仰轴承连接。

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