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龙图腾网获悉长鑫新桥存储技术有限公司申请的专利化学机械研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120170632B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510661649.6，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权化学机械研磨装置是由李树林设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学机械研磨装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种化学机械研磨装置，涉及半导体加工技术领域。该装置包括：研磨垫、研磨头和传动组件；其中，研磨垫固定在研磨台的表面上，研磨台用于带动研磨垫进行旋转运动；研磨头用于夹持晶圆，研磨头与研磨垫配合使用，以对晶圆进行研磨；传动组件包括依次连接的第一传动轴、活动连接部和第二传动轴，第二传动轴的一端与研磨头远离晶圆的一端连接，第二传动轴的另一端通过活动连接部与第一传动轴连接，以在晶圆的表面与研磨垫的表面之间产生夹角时，第二传动轴能够相对于第一传动轴进行偏转，使晶圆的表面与研磨垫的表面相贴合。该装置可对研磨垫的位置进行自适应调整，以提高研磨垫与晶圆表面的接触均匀性，从而提高晶圆的良率。

本发明授权化学机械研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括： 研磨垫，所述研磨垫固定在研磨台的表面上，所述研磨台用于带动所述研磨垫进行旋转运动； 研磨头，所述研磨头用于夹持晶圆，所述研磨头与所述研磨垫配合使用，以对所述晶圆进行研磨； 传动组件，所述传动组件包括依次连接的第一传动轴、活动连接部和第二传动轴，所述第二传动轴的一端与所述研磨头远离所述晶圆的一端连接，所述第二传动轴的另一端通过所述活动连接部与所述第一传动轴连接，以在所述晶圆的表面与所述研磨垫的表面之间产生夹角时，所述第二传动轴能够相对于所述第一传动轴进行偏转，使所述晶圆的表面与所述研磨垫的表面相贴合； 多条导气管道，多条所述导气管道分别贯穿所述第一传动轴、所述活动连接部与所述第二传动轴，所述导气管道与所述研磨头连接，所述导气管道用于为所述研磨头提供压缩气体； 至少一个可轴向旋转的密封接头，所述密封接头具有异形气腔及管道连接口，其中，所述异形气腔为弧形气腔，以便在所述第二传动轴发生偏转时，所述密封接头能够通过所述弧形气腔进行转动，防止所述第二传动轴在偏转过程中发生卡顿。

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