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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利用于晶圆轮廓检测的图像获取方法及相关装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120182316B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510646991.9，技术领域涉及：G06T7/13；该发明授权用于晶圆轮廓检测的图像获取方法及相关装置是由陈海龙;郭晓忠设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆轮廓检测的图像获取方法及相关装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于晶圆轮廓检测的图像获取方法及相关装置，涉及晶圆检测技术领域。该方法包括：获得在晶圆在朝向一个方向旋转的过程中依次采集得到的多张初始图像，图像采集设备用于在晶圆的厚度方向针对晶圆进行图像采集，多张初始图像的第一待拼接图像与多张初始图像中除第一待拼接图像之外的剩余图像包括晶圆的相同实际区域；确定出除第一待拼接图像之外的各张其他初始图像中位于有效景深内的局部图像作为第二待拼接图像；通过基于各第二待拼接图像及第一待拼接图像进行拼接处理，得到用于晶圆轮廓检测的目标图像。如此，可缓解由于用于晶圆轮廓检测的图像中的模糊轮廓部分较多导致晶圆边缘测量存在较大误差的情况。

本发明授权用于晶圆轮廓检测的图像获取方法及相关装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆轮廓检测的图像获取方法，其特征在于，所述方法包括： 获得在晶圆在朝向一个方向旋转的过程中依次采集得到的多张初始图像，其中，图像采集设备用于在所述晶圆的厚度方向针对所述晶圆进行图像采集，所述多张初始图像的第一待拼接图像与所述多张初始图像中除第一待拼接图像之外的剩余图像包括所述晶圆的相同实际区域； 确定出所述多张初始图像中除所述第一待拼接图像之外的各张其他初始图像中位于有效景深内的局部图像作为第二待拼接图像； 通过基于各第二待拼接图像及所述第一待拼接图像进行拼接处理，得到用于晶圆轮廓检测的目标图像； 其中，所述方法还包括： 根据所述晶圆的半径、所述晶圆在所述图像采集设备的像方视野中的长度，计算得到在俯视角度下所述晶圆位于所述图像采集设备与光源之间的弓形区域的弧线两端点之间距离的一半距离，作为目标弓长； 根据所述目标弓长，确定出所述图像采集设备采集到的晶圆图像中的待拼接区域； 所述通过基于各第二待拼接图像及所述第一待拼接图像进行拼接处理，得到用于晶圆轮廓检测的目标图像，包括： 在所述第一待拼接图像的待拼接区域内，将各第二待拼接图像与所述第一待拼接图像进行拼接处理，得到所述目标图像。

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