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龙图腾网获悉深圳市赛弥康电子科技有限公司申请的专利一种半导体料板用自动装卸控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120149218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510632137.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体料板用自动装卸控制系统是由黄建华;彭飞鹏;黄玉辉设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体料板用自动装卸控制系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体料板用自动装卸控制系统，包括：视觉定位与形貌检测模块；夹持力动态控制模块；路径规划与避障模块：基于料板堆叠参数划分装卸区域安全层级，采用改进路径搜索算法生成避障轨迹；根据机械臂关节负载数据优化路径的加速度曲线；闭环验证模块：将机械臂末端实际位姿与目标坐标进行偏差比对，若超限则触发视觉定位与形貌检测模块至路径规划与避障模块的协同复位；所述视觉定位与形貌检测模块至闭环验证模块按顺序执行，前一模块的输出参数作为后一模块的输入参数。通过模块之间的紧密配合，实现了高效且精准的自动装卸控制，不仅提高了自动化水平，还保障了操作安全和精度。

本发明授权一种半导体料板用自动装卸控制系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体料板用自动装卸控制系统，其特征在于，包括依次连接的以下模块： 视觉定位与形貌检测模块： 通过多光谱成像消除料板表面反光干扰，结合亚像素级边缘定位算法计算料板中心坐标； 基于双目视觉生成料板表面三维点云模型，提取翘曲高度和边缘倾角参数； 夹持力动态控制模块： 根据表面形貌参数和实时压力分布数据，通过模糊控制算法调整夹爪伺服电机的输出扭矩； 当检测到局部压力异常变化时，触发高频微振动机构调整料板位姿； 路径规划与避障模块： 基于料板堆叠参数划分装卸区域安全层级，采用改进路径搜索算法生成避障轨迹，堆叠参数包括翘曲高度和边缘倾角参数； 根据机械臂关节负载数据优化路径的加速度曲线； 所述改进路径搜索算法的避障策略包括： 通过ToF传感器获取障碍物的三维轮廓数据，将障碍物边界向外扩展形成膨胀区域，所述扩展形成膨胀区域的距离根据机械臂末端执行器的运动包络半径确定； 在路径搜索过程中，将膨胀区域内的网格标记为不可通行节点，采用动态权重A*算法绕过不可通行节点； 所述动态权重包括路径长度权重、关节扭矩需求权重及加速度平滑性权重，各权重系数根据机械臂当前负载惯量实时分配； 闭环验证模块： 将机械臂末端实际位姿与目标坐标进行偏差比对，若超限则触发视觉定位与形貌检测模块至路径规划与避障模块的协同复位； 所述视觉定位与形貌检测模块至闭环验证模块按顺序执行，前一模块的输出参数作为后一模块的输入参数。

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