兰州大学顾龙获国家专利权
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龙图腾网获悉兰州大学申请的专利一种具备复合功能薄膜与表面织构的离子源微波窗及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120129135B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510624639.5,技术领域涉及:H05H1/24;该发明授权一种具备复合功能薄膜与表面织构的离子源微波窗及其制备方法是由顾龙;杨洋;王冠;苏兴康;张世旭;张璐;周文铭;戴中颖设计研发完成,并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具备复合功能薄膜与表面织构的离子源微波窗及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及离子源微波窗技术领域,具体涉及一种具备复合功能薄膜与表面织构的离子源微波窗及其制备方法,所述的离子源微波窗由微波窗基体层、复合功能薄膜层和表面织构层组成;特别适用于电子回旋共振(ECR)离子源及其相关应用,尤其在高功率微波激励和高密度等离子体环境下,能够有效抑制表面打火现象,减少烧蚀,提升微波耦合效率、延长微波窗的使用寿命,且具有优异的导热性能和耐击穿性能。
本发明授权一种具备复合功能薄膜与表面织构的离子源微波窗及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具备复合功能薄膜与表面织构的离子源微波窗,其特征在于,所述的离子源微波窗由微波窗基体层、复合功能薄膜层和表面织构层组成,所述的复合功能薄膜层沉积在微波窗基体层的真空侧表面,所述的表面织构层覆盖于复合功能薄膜上表面,所述的表面织构层呈蜂窝状,孔径为50-200μm,孔深为2-3μm。
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