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视睿(杭州)信息科技有限公司别伟成获国家专利权

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龙图腾网获悉视睿(杭州)信息科技有限公司申请的专利一种超声检测设备、方法、装置、电子设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120121728B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510600745.X,技术领域涉及:G01N29/44;该发明授权一种超声检测设备、方法、装置、电子设备及介质是由别伟成;单书畅;别晓辉设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种超声检测设备、方法、装置、电子设备及介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种超声检测设备、方法、装置、电子设备及介质,方法包括获取多个超声换能器采集到的第一超声信号;将所述第一超声信号进行希尔伯特变换,得到变换后的第二超声信号;基于所述第二超声信号与表面波门限值的比较结果找到表面波;将所述第二超声信号中表面波之后的预置时间内的波形,与键合层门限值进行比较找到键合层波形;基于所述键合层波形的幅值确定键合层是否存在分层缺陷。本发明能够避免图像上存在噪点,以及分层缺陷被遗漏的问题出现。

本发明授权一种超声检测设备、方法、装置、电子设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种超声数据分析方法,其特征在于,包括: 获取多个超声换能器采集到的第一超声信号; 将所述第一超声信号进行希尔伯特变换,得到变换后的第二超声信号; 基于所述第二超声信号与表面波门限值的比较结果找到表面波;将所述第二超声信号中表面波之后的预置时间内的波形,与键合层门限值进行比较找到键合层波形; 基于所述键合层波形的幅值确定键合层是否存在分层缺陷; 所述基于所述第二超声信号与表面波门限值的比较结果找到表面波,包括: 将所述第二超声信号中第一次出现的波峰幅值大于表面波门限值的波形确定为表面波; 在所述基于所述键合层波形的幅值确定键合层是否存在分层缺陷,之后还包括: 获取多个所述超声换能器采集到的所述第一超声信号对应的所述键合层波形,以及所述第一超声信号对应于晶圆上的位置信息,得到晶圆上每一位置对应的键合层波形; 将晶圆上每一位置对应的键合层波形的振幅值,转换成每一像素点的灰度值,进而得到完整的第一晶圆灰度图像,所述第一晶圆灰度图像用于反映晶圆上各缺陷的分布。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人视睿(杭州)信息科技有限公司,其通讯地址为:311100 浙江省杭州市余杭区中泰街道绿泰路5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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