盛美半导体设备(上海)股份有限公司谢翔获国家专利权
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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510594876.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质是由谢翔;张晓燕;胡海波;陶泽魏;宗源设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质，双级溅液监测系统包括防护罩、晶圆夹具、供液单元、视觉采集单元、传感器单元以及控制单元，防护罩具有开口和容纳腔；晶圆夹具位于容纳腔内，用于带动晶圆旋转；供液单元用于通过开口向容纳腔内的晶圆供应化学液；视觉采集单元用于采集包含开口在内的采集区域中化学液的第一溅液数据；传感器单元包括第一检测模块，用于检测通过开口飞溅到容纳腔外的化学液的第二溅液数据；控制单元分别与视觉采集单元和传感器单元通信连接，用于基于第一溅液数据和第二溅液数据，执行不同等级的控制操作。本申请能够实现双级溅液监测，减少晶圆报废，进而降低成本，从而显著提升经济效益。
本发明授权双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质在权利要求书中公布了：1.一种双级溅液监测系统，其特征在于，包括： 防护罩，具有开口和容纳腔； 晶圆夹具，位于所述容纳腔内，用于带动晶圆旋转； 供液单元，用于通过所述开口向所述容纳腔内的晶圆供应化学液； 视觉采集单元，用于采集包含所述开口在内的采集区域中化学液的第一溅液数据； 传感器单元，包括第一检测模块，用于检测通过所述开口飞溅到所述容纳腔外的化学液的第二溅液数据；以及 控制单元，分别与所述视觉采集单元和所述传感器单元通信连接，用于基于所述第一溅液数据和所述第二溅液数据，执行不同等级的控制操作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛美半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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