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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120102576B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510585790.2，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法是由杨青;刘泓圻;金伟正;章岳光设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法，属于晶圆缺陷检测技术领域，包括以下步骤：将晶圆图案离散化为多个离散点，同时根据照明光源类型，将照明光源的形状离散化为多个点光源并得到单个点光源坐标；针对每个点光源，利用其坐标由严格矢量衍射积分模型获取点光源照明时对应每个离散点处晶圆图案的空间像；对所有点光源对应的晶圆图案的空间像进行叠加，获得部分相干照明时对应晶圆图案的空间像，这样可以实现对晶圆图案空间像的精确获取，从而有效提升晶圆缺陷检测的可靠性与效率，满足半导体行业对高精度、高适应性检测技术的迫切需求，推动集成电路芯片制造质量的提升。

本发明授权一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于严格矢量衍射积分获取图案晶圆空间像的方法，其特征在于，包括以下步骤： 将晶圆图案离散化为多个离散点，同时根据照明光源类型，将照明光源的形状离散化为多个点光源并得到单个点光源坐标； 针对每个点光源，利用其坐标由严格矢量衍射积分模型获取点光源照明时对应每个离散点处晶圆图案的空间像，包括： 根据点光源坐标，计算点光源的出射光经过晶圆图案反射后，在晶圆图案表面的N*M个离散点处近场衍射的电场分布和磁场分布； 利用傅里叶光学成像理论计算电场分布和磁场分布在频谱面的傅里叶变换结果和，其中，频谱面的坐标由全局坐标系x，y变换得到； 基于严格矢量衍射积分模型计算各个电磁场偏振分量的传递函数； 由传递函数与傅里叶变换结果和相乘计算给定孔径产生的衍射图样； 利用傅里叶光学成像理论，对衍射图样进行逆傅里叶变换得到远场的电场分布和磁场分布，根据电场分布获取点光源对应每个离散点处晶圆图案的空间像Ix，y； 对所有点光源对应的晶圆图案的空间像进行叠加，获得部分相干照明时对应晶圆图案的空间像。

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