买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉宁波云涂科技有限公司申请的专利一种基于超声-电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射银包电导材料粉体装置及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120082856B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510500183.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种基于超声-电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射银包电导材料粉体装置及其应用是由钱旦;胡鑫;张星翔;张禄洋;马洋设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超声-电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射银包电导材料粉体装置及其应用在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射技术领域，具体公开一种基于超声‑电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射银包电导材料粉体装置及其应用。针对粉体团聚、靶材利用率低及规模化生产均匀性差的技术难题，本发明以多孔陶瓷工装盘为核心载体，集成高频超声振子阵列20‑100kHz可调、平面矩形阴极倾角0‑15°及亥姆霍兹线圈0.1‑0.5T旋转磁场，通过空化效应、电磁悬浮与多靶协同溅射实现粉体非接触式分散与银层精准包覆。工装盘采用梯度孔径设计，结合液氮微通道冷却及模块化分腔结构，使粉体分散均匀性CV值5％、银层孔隙率1％、靶材利用率52％及单炉产能72kg8h显著优化，为电子材料领域提供高效、环保的产业化解决方案。

本发明授权一种基于超声-电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射银包电导材料粉体装置及其应用在权利要求书中公布了：1.一种基于超声-电磁悬浮复合分散系统的磁控溅射银包电导材料粉体装置，其特征在于，包括： 磁控溅射炉体1，提供真空环境； 工装盘2，设置在所述磁控溅射炉体1内以承载电导材料粉体，其表面具有梯度孔径结构的通孔，所述通孔位于中心区域的孔径小于位于边缘区域的孔径，所述通孔位于中心区域的孔密度大于位于边缘区域的孔密度，所述工装盘2在中心区域的通孔的孔径为8-15μm、孔密度为1100-1400孔cm2，在边缘区域的通孔的孔径为40-60μm、孔密度为150-300孔cm2； 超声振子阵列3，分布在所述工装盘2的盘底，工作频率为20-100kHz，功率密度为1-5Wcm2； 动态磁场调控模块4，设在所述工装盘2的外围，由亥姆霍兹线圈构成，通以三相交流电生成0.1-0.5T旋转磁场，驱动电导材料粉体以80-200rpm自旋； 平面矩形阴极5，布置在所述磁控溅射炉体1的顶部，靶材为纯度≥99.995％的银，靶材倾角为0-15°，靶面中心距所述工装盘2轴线120-320mm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宁波云涂科技有限公司，其通讯地址为：315000 浙江省宁波市鄞州区姜山镇雁湖路721号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。