长鑫新桥存储技术有限公司陈恩浩获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫新桥存储技术有限公司申请的专利一种光刻机的能量校准方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119987164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510464927.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机的能量校准方法及装置是由陈恩浩设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机的能量校准方法及装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种光刻机的能量校准方法及装置。所述方法包括：利用温度传感器测量得到光刻过程中的温度参数；根据预设关系模型，得到所述温度参数对应的能量转换系数；所述预设关系模型为能量转换系数与温度参数的关系模型；基于所述能量转换系数对光刻机进行能量校准。
本发明授权一种光刻机的能量校准方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机的能量校准方法，其特征在于，所述方法包括： 获取所述光刻机中光罩和或透镜在不同温度下的样本温度参数； 基于所述样本温度参数构建预设关系模型； 利用第一温度传感器和第二温度传感器测量得到光刻过程中的第一温度参数和第二温度参数；所述第一温度传感器与所述光刻机中光罩承载台相邻设置，所述第二温度传感器与所述光刻机中透镜相邻设置；所述第一温度参数和所述第二温度参数构成温度参数； 根据预设关系模型，得到所述温度参数对应的能量转换系数；所述预设关系模型为能量转换系数与温度参数的关系模型； 基于所述能量转换系数对光刻机进行能量校准。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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